Langmuir Probe 플라즈마 측정기 [How Langmuir Probe Works]

2009.08.06 11:38

허용강 조회 수:21558 추천:156

안녕하세요.
플라즈마 자료 검색을 하다가 찾게되었고, 자세한 답변을 기대하며, 질문을 드리게 됩니다.
플라즈마에 대해서 공부를 하고 있는데요. 주어지는 전압, 전류에 따라서 플라즈마가 변하는 것을
어떤 분석장비로 분석을 할수 있는지 알아보려합니다.

분석 장비 이름이라도 알면은 검색이라도 해서 찾아볼텐데, 어떠한 장비가 있는지도 잘 모르겠습니다.
장비 이름과 간단한 분석 원리 및 분석 가능 파라미터등을 알고 싶은데,
정말 간단히 분석 장비 이름이라도 꼭 답변을 달아주셨으면 합니다.
현재 아는것은 랭뮤어 뿐이 모릅니다.. 꼭 부탁드립니다. 감사합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [332] 102724
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 24675
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 61390
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73457
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 105792
753 Dry Etch장비에서 Vdc와 Etch rate관계 [플라즈마 및 반응기 임피던스] [1] 23257
752 floating substrate 에서 sheath 형성 과정 의문점 [Ambipolar diffusion, Floating potential] [2] 23101
751 안녕하세요. O2 Plasma 관련 질문좀 드리겠습니다. 23083
750 [질문] Plasma density 측정 방법 [Plasma property와 sputtering] [1] 22952
749 pulse plasma 측정을 위한 Langmuir probe 사용 방법 관련 [Pulse plasma와 trigger-in] [1] 22905
748 Peak RF Voltage의 의미 22850
747 MATCHING NETWORK 에서 BACKWARD BIAS 가 생성되는 이유가 무엇 입니까? [Impedance matching과 반사파 형성] [3] 22818
746 Dry Etcher 에 대한 교재 [플라즈마 식각 기술] [1] 22808
745 질문있습니다 교수님 [Deposition] [1] 22710
744 Dry Etcher 내 reflect 현상 [Chuck 전압/전류 및 field breakdown] [2] 22543
743 플라즈마의 발생과 ICP 22327
742 플라즈마내의 전자 속도 [Self bias] [1] 22242
741 플라즈마 코팅 관하여 [PECVD와 화학물 코팅] 22217
740 플라즈마 온도 질문+충돌 단면적 [전자의 에너지에 따른 충돌반응] 22139
739 펄스바이어스 스퍼터링 답변 22080
738 스퍼터링시 시편 두께와 박막두께 [박막의 하전량 변화] [1] 22030
737 ccp-icp 21963
736 glass 기판 ICP 에서 Vdc 전압 21926
735 F/S (Faraday Shield) file 21849
734 manetically enhanced plasmas 21766

Boards


XE Login