ESC 정전척의 chucking voltage 범위가 궁금합니다.

2023.03.08 15:28

윤정환 조회 수:456

안녕하세요.

실제 양산에서 150mm 200mm 300mm 정전척 마다 chucking을 위해 인가 되는 voltage 값이 얼마 정도 되는지 궁금합니다.

그리고 chucking voltage가 너무 크면 생기는 문제와 그 maximum 값을 정하는 지표가 따로 있을까요?

너무 궁금해서 논문도 찾아보고 그러는데 오픈 되어있는 정보가 너무 없는 것 같아서 답답하네요..

도움을 부탁드립니다...

번호	제목	조회 수
공지	[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [220]	75421
공지	Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법	19154
공지	개인정보 노출 주의 부탁드립니다.	56478
공지	kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수	67552
공지	질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3]	89355
16	Dry Chamber VPP 변동 관련 질문입니다 [1]	730
15	RF 파워서플라이 매칭 문제	691
14	analog tuner관련해서 질문드립니다. [1]	606
13	RPC CLEAN 시 THD 발생 [1]	564
12	Interlock 화면.mag overtemp의 의미	522
11	Bais 인가 Cable 위치 관련 문의 [1]	501
10	주파수 변화와 Plasma 온도 연관성 [1]	494
9	Chamber impedance 범위에 대해 질문드립니다.	456
»	정전척의 chucking voltage 범위가 궁금합니다. [1]	456
7	ICP BIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다ICP BIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다 [1]	317
6	chamber에 인가 되는 forward power 관련 문의 [1]	213
5	반사파와 유,무효전력 관련 질문 [2]	161
4	CURRENT PATH로 인한 아킹 [1]	147
3	PECVD 고온 공정에서 증착 막으로의 열전달 관련 문의드립니다. [1]	134
2	플라즈마 전원 공급장치에 대한 질문 [1]	134
1	RF Frequency 가변과 FORWARD POWER의 상관관계 [1]	85

첫 페이지 1 2 3 4 5 6 끝 페이지

쓰기

댓글 1