Shower head PECVD 고온 공정에서 증착 막으로의 열전달 관련 문의드립니다.

2023.07.10 13:26

치킨냠냠 조회 수:331

안녕하세요

 

항상 많은 도움 감사합니다.

 

PECVD 고온 공정에서 증착 막으로의 열전달 관련 문의드립니다.

 

CCP TYPE CVD 공정의 경시성 현상에 관한 질문입니다.

 

일반적으로 경시성은 Shower Head 의 불균일한 Oxidation에 의해서 발생을 하게 되는데

Oxidation이 심하게 되는 부위에서 Oxide 막이 두껍게 형성되어,

Shower Head에서의 열이 방사율이 높아짐에 따라 산화가 많이 된 쪽이 Heat Loss가 더 커질 것으로 판단되는데요

 

일반적으로 Oxidation의 경우 Center 대비 Edge 쪽에서 많이 이뤄져서 Edge 쪽 방사율에 의해 Edge 막의 Temp가 더 낮을 것으로 예상했으나

실제 현상으로는 Center 쪽 막의 Temp가 더 낮은 현상이 일어납니다.

 

이론적인 부분과 실제 현상이 매칭이 잘 안되어서 혹시 원인이 무엇일지 궁금해서 의견 어떠신지 질문드립니다.

(Edge 영역으로 열전달이 많이 될 수 있는 매커니즘이 있는지 궁금합니다)

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [269] 76738
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20206
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57168
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68702
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92284
22 매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다. [1] 839
21 RF 파워서플라이 매칭 문제 815
20 ICP BIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다ICP BIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다 [1] file 787
19 RF Frequency 가변과 FORWARD POWER의 상관관계 [2] 742
18 정전척의 chucking voltage 범위가 궁금합니다. [1] 702
17 analog tuner관련해서 질문드립니다. [1] 657
16 RPC CLEAN 시 THD 발생 [1] 634
15 주파수 변화와 Plasma 온도 연관성 [1] 625
14 Interlock 화면.mag overtemp의 의미 585
13 PECVD설비 Matcher 아킹 질문 [2] 551
12 Chamber impedance 범위에 대해 질문드립니다. 548
11 Bais 인가 Cable 위치 관련 문의 [1] 546
10 플라즈마 전원 공급장치에 대한 질문 [1] 484
9 CCP 설비 Capacitance 및 Impedance 변화에 따른 Vpp 변동성 문의 [2] 406
8 CURRENT PATH로 인한 아킹 [1] file 391
7 chamber에 인가 되는 forward power 관련 문의 [1] 357
6 반사파와 유,무효전력 관련 질문 [2] 348
» PECVD 고온 공정에서 증착 막으로의 열전달 관련 문의드립니다. [1] 331
4 Edge ring의 역할 및 원리 질문 [1] 217
3 스미스차트의 저항계수에 대한 질문드립니다 70
쓰기
태그

Boards

XE Login