Others Dusty Plasma의 진단에 관해서 질문드립니다.
2017.01.10 21:48
안녕하십니까, 서울대학교 황농문 교수님 연구실 석사과정 김수종입니다.
제가 하고 싶은 것을 대략적으로 설명드리면, nano-size dust들의 크기를 조절에서 박막 증착의 물성을 확인하려고 하는데, 이 nano particle을 어떤 방식으로 조절할까 고민하던 중 흥미있는 논문을 읽게 되었습니다.
제가 논문을 이해한바로는, DC probe와 Current probe와 같은 간단한 장비를 이용해서, third Harmonics와 fundamental amplitude를 읽어들여서, nano particle의 nucleation, accumulation, coagulation, 세 단계를 실시간으로 잡아낼 수가 있다고 합니다. 이를 이용해서 nano particle 의 size를 조절할 수 있다는, 제가 꼭 필요한 부분에 관한 내용입니다.
사실, ICP 장비를 다루고는 있지만, 플라즈마 및 장비에 대해서 지식이 부족해서 장비 업체에 연락을 먼저 해 봤지만 잘 모르겠다고 답변을 받았고, 저희 연구실과 같이 공동 연구를 하는 쪽에도 여쭤봤지만 확답은 잘 못 받았습니다.
이미 그 논문을 쓴 해당 연구실에 관련한 궁금증에 대해서 질문을 메일로 보냈습니다.
하지만, 혹시 여기에서도 좋은 조언을 얻을 수 있을까 하는 희망을 가지고 질문 올립니다.
혹시 필요하실까봐, 제가 읽은 짧은 논문 하나와, 그 연구실에서 나온 것으로 생각된 document를 보내드립니다.
Document에서 제가 관심 있어하는 부분은 50쪽 Figure II.1과 59쪽 II.3.b Vdc and 3H probes에 관한 내용입니다.
참고할 만한 작은 조언이라도 부탁드립니다.
010-4188-1840
댓글 1
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [276] | 76858 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20263 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57197 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68748 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92612 |
676 | 플라즈마 진단법에 대하여 [1] | 20579 |
675 | 확산펌프 | 20524 |
674 | wafer 전하 소거: 경험 있습니다. | 20483 |
673 | RIE장비 에서 WALL 과 TOP 온도 | 20432 |
672 | Langmuir probe tip 재료 | 20411 |
671 | CCP형, 진공챔버 내에서의 플라즈마... [1] | 20391 |
670 | 상압 플라즈마 방전에 관한 문의 [1] | 20312 |
669 | 안녕하세요. GS플라텍 지성훈입니다. [1] | 20262 |
668 | 형광등과 플라즈마 | 20256 |
667 | 플라즈마 matching | 20251 |
666 | DBD플라즈마와 플라즈마 impedance | 20212 |
665 | Sputter 시에 Gas Reaction 에 대해 문의 드립니다. | 20206 |
664 | 플라즈마 진동수와 전자온도 | 20063 |
663 | 석영이 사용되는 이유? [1] | 20037 |
662 | CCP의 Vp가 ICP의 Vp보다 높은 이유 | 20012 |
661 | [질문] 석영 parts로인한 특성 이상 [1] | 19842 |
660 | 에쳐장비HF/LF 그라운드 관련 [1] | 19783 |
659 | 상압플라즈마에서 온도와의 관계를 알고 싶습니다. | 19766 |
658 | PM을 한번 하시죠 | 19732 |