안녕하세요.

국내 소재 기업에 근무하며 진공장비 및 박막 공정에 대해 공부하고 있는 이용섭입니다.

 

궁금한 점은

 

DC나 RF 플라즈마를 켜고 육안으로 봤을 때 압력에 따라 플라즈마의 크기(퍼지는 정도)에 차이가 발생합니다.

 

압력이 낮으면 플라즈마 크기가 커지고(퍼지고), 압력이 높아지면 플라즈마 크기가 작아지는 것으로 보입니다.

 

이러한 현상이 나타나는 이유(압력에 따라 플라즈마 크기가 달라지는 이유, 원리)가 궁금합니다.

 

 

 

 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [333] 103321
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 24716
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 61526
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73520
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 105952
694 [re] 터보분자펌프에 대해서 질문 좀 하고 싶어요! 19888
693 대기압 상태의 플라즈마 측정 19842
692 플라즈마를 손으로 만질 수는 없나요 [플라즈마의 온도와 밀도] 19824
691 Noise 문제, 탐침에 의한 식각 플라즈마의.. [RF ground와 Cl Plasma] 19817
690 self bias [Capacitor와 mobility] [1] 19809
689 DCMagnetron Sputter에서 (+)전원 인가시 [플라즈마 부유 전위] 19805
688 PM을 한번 하시죠 19802
687 DC SPT 문의 [절연체의 전위] 19781
686 smsith chart 공식 유도하는 방법? 19780
685 H2/O2 혼합 플라즈마에 관련 질문 입니다. [2] 19738
684 플라즈마를 이용한 폐기물 처리 [코로나 방전, 먼지 집진] 19733
683 플라즈마를 이용한 박막처리 19697
682 QMA에 관하여 [1] 19675
681 Full Face Erosion 관련 질문 [2] 19640
680 [Q]플라즈마 생성위한 자유전자라는게 뭐죠? [Breakdown, cosmic ray] 19617
679 AC 플라즈마에서의 전압/전류 형상… [Plasma Current와 dielectricity] 19589
678 scattering cross-section, rf grounding에 관한 질문입니다. [RF matching 및 반응 단면적] [2] 19477
677 CCP/ICP에서 자석의 역할에 대하여 [ICP와 자기장의 역할] 19475
676 터보분자펌프에 대해서 질문 좀 하고 싶어요! 19454
675 MFC [Direct liquid injection] 19419

Boards


XE Login