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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 65729
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108 부도체를 타겟으로 한 플라즈마 형성 원리 [1] 2097
107 양극 코로나 방전에 대한 질문입니다. [1] 2044
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103 RIE에서 O2역할이 궁금합니다 [4] 1873
102 plasma etching을 관련 문의드립니다. [1] 1867
101 플라즈마 self bias 값과 압력, 파워의 상관관계에 대해 질문이 있습니다. [1] 1853
100 CVD 공정에서의 self bias [1] 1742
99 공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 답변 정말 감사합니다! 1680
98 플라즈마 관련 기초지식 [1] 1666
97 플라즈마 띄울때..ㅠㅠ!!? [1] 1636
96 ICP power와 ion energy사이의 관계에 대해서 문의드립니다. [2] 1617
95 RF/LF에 따른 CVD 막질 UNIFORMITY [1] 1546
94 다중 주파수를 이용한 플라즈마 식각에서 이온 에너지 제어 관련 [1] 1526
93 N2 Plasma 상태에 대해서 질문 드립니다. [1] 1505
92 쉬스(sheath)에서 전자와 이온의 감소 관련하여 질문 [1] 1467
91 O2 플라즈마 클리닝 관련 질문 [1] 1382
90 플라즈마 rotational temperature에 관해서 질문드릴게 있습니다. [1] 1344
89 CCP기반 power와 Etch rate 관계에 대해 여쭈어드립니다. [3] 1321
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