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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 64190
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102 양극 코로나 방전에 대한 질문입니다. [1] 2001
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100 plasma etching을 관련 문의드립니다. [1] 1826
99 플라즈마 self bias 값과 압력, 파워의 상관관계에 대해 질문이 있습니다. [1] 1763
98 RF Power와 균일도 연관성 질문드립니다. [2] 1599
97 플라즈마 띄울때..ㅠㅠ!!? [1] 1554
96 공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 답변 정말 감사합니다! 1554
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94 질문있습니다. [1] 1481
93 다중 주파수를 이용한 플라즈마 식각에서 이온 에너지 제어 관련 [1] 1476
92 ICP power와 ion energy사이의 관계에 대해서 문의드립니다. [2] 1472
91 RIE에서 O2역할이 궁금합니다 [4] 1355
90 쉬스(sheath)에서 전자와 이온의 감소 관련하여 질문 [1] 1346
89 O2 플라즈마 클리닝 관련 질문 [1] 1333
88 플라즈마 rotational temperature에 관해서 질문드릴게 있습니다. [1] 1317
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86 N2 Plasma 상태에 대해서 질문 드립니다. [1] 1271
85 RF/LF에 따른 CVD 막질 UNIFORMITY [1] 1262
84 강의를 들을 수 없는건가요? [2] 1244
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