Others Surface wave plasma 조건에 관해 질문드립니다.
2024.06.13 15:23
안녕하세요
2.45[GHz]를 사용하는 마이크로웨이브 플라즈마에서
Electric field가 chamber 내부로 투과하는것이 아닌 유전체와 플라즈마 경계에 Surface wave mode로 형성되는 조건이 궁금해서 문의드립니다.
일반적으로 2.45[GHz]에서 cut-off density가 7.4x10^11[1/m^3] 로 알고있는데 이 cut-off density 이상의 플라즈마 밀도가 형성되면 surface wave mode로 작동하는 것이 맞을까요?
항상 홈페이지에서 많이 배우고 있습니다.
교수님의 고견을 여쭙습니다.
감사합니다.
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [293] | 77381 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20520 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57455 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68988 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 93009 |
9 | 반도체 CVD 공정의 ACL공정에서 RF Reflect Power에 관하여 여쭤보고 싶습니다. | 41326 |
8 | 플라즈마내에서의 아킹 | 43731 |
7 | 안녕하세요. RF Matching에 관한 질문입니다. [1] | 48041 |
6 | VPP, VDC 어떤 FACTOR 인지 알고 싶습니다. [1] | 55112 |
5 | Silent Discharge | 64567 |
4 | Plasma source type | 79740 |
3 | RF 플라즈마와 Microwave 플라즈마의 차이 | 96245 |
2 | DC 글로우 방전 원의 원리 좀 갈켜주세여.. | 134469 |
1 | SCCM 단위에 대하여 궁금합니다. | 145756 |
이미 잘 아시고 계십니다. 이제 표면파가 반응기 내의 플라즈바 표면에서 전파되는 현상을 공부해 보세요.