Etch 식각 시 나타나는 micro-trench 문제

2019.03.28 15:12

안골 조회 수:2040

안녕하세요? 식각에 관해 공부하고 있는 대학원생입니다.


요즘 plasma etching 에 관한 리뷰를 보는 중 식각 시 나타나는 etch profile의 distortion에 관해서 써놓은 내용을 보았습니다.

특히, Si 공정 중 micro-trench 현상이 일어나고, 그대로 소자가 만들어 졌을 때에 소자 상에서 어떤 문제가 일어나는지 궁금합니다. 

리뷰에 달린 참고문헌을 봐도 distortion에 대한 메커니즘만 설명되어 있고, 실제 소자상에서는 어떤 문제가 있는지 다뤄지지가 않아 너무 궁금합니다...

혹시 이에 대한 문헌이나, 참고할만한 자료가 있으면 답변 부탁드리겠습니다.

감사합니다.


참고한 문헌 : Donnelly, V. M., & Kornblit, A. (2013). Plasma etching: Yesterday, today, and tomorrow. Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films, 31(5), 050825.

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [280] 77143
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20426
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57335
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68877
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92900
382 HF+LF 사용 중. HF Power 증가 시 Deposition Rate 감소 현상 문의 [1] 2928
381 고온의 플라즈마와 저온의 플라즈마의 차이 [1] 2971
380 RF matcher와 particle 관계 [2] 3014
379 Plasma etcher particle 원인 [1] 3038
378 Gas flow rate에 따른 etch rate의 변화가 궁금합니다. [1] 3043
377 Plasma 에칭 후 정전기 처리 [3] 3067
376 아르곤이나 기타 플라즈마 토치에 소량의 수증기를 집어넣으면 온도가 떨어지는 현상에 대해서 3167
375 M/W, RF의 Plasma에 의한 Ashing 관련 문의드립니다. [1] 3181
374 CVD 공정에서의 self bias [1] 3191
373 matcher, ESC, Heater에 대해 질문 드립니다. [3] 3232
372 electron energy distribution에 대해서 질문드립니다. [2] 3263
371 Matcher의 Load/Tune Position 거동에 관해 질문이 있습니다. [2] 3298
370 Etcher Chamber Wall에 의도적으로 Polymer를 증착시키고 싶습니다. [2] 3341
369 PP & PET 친수성과 접착성 유지 질문입니다. [1] 3341
368 PECVD Precursor 별 Arcing 원인 [1] 3370
367 RF Power와 균일도 연관성 질문드립니다. [2] 3413
366 코로나 방전의 속도에 관하여... [1] 3450
365 RF plasma 증착 시 arcing 관련하여 질문드립니다. [1] 3458
364 plasma sheath 두께의 영향에 대하여 질문드립니다. [2] 3464
363 Bias 관련 질문 드립니다. [1] 3478
쓰기
태그

Boards

XE Login