Etch 식각 시 나타나는 micro-trench 문제 [소자 식각 데미지]

2019.03.28 15:12

안골 조회 수:2427

안녕하세요? 식각에 관해 공부하고 있는 대학원생입니다.

 

요즘 plasma etching 에 관한 리뷰를 보는 중 식각 시 나타나는 etch profile의 distortion에 관해서 써놓은 내용을 보았습니다.

특히, Si 공정 중 micro-trench 현상이 일어나고, 그대로 소자가 만들어 졌을 때에 소자 상에서 어떤 문제가 일어나는지 궁금합니다. 

리뷰에 달린 참고문헌을 봐도 distortion에 대한 메커니즘만 설명되어 있고, 실제 소자상에서는 어떤 문제가 있는지 다뤄지지가 않아 너무 궁금합니다...

혹시 이에 대한 문헌이나, 참고할만한 자료가 있으면 답변 부탁드리겠습니다.

감사합니다.

 

참고한 문헌 : Donnelly, V. M., & Kornblit, A. (2013). Plasma etching: Yesterday, today, and tomorrow. Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films, 31(5), 050825.

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [329] 98215
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 23856
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 60534
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 72403
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 103096
472 dry etching중 온도, 진공도, glass상태에 따라 chucking force가 변화하는지요? [표면 하전 특성 및 chucking 불안정성] [1] 4084
471 Plasma Etching 교재 추천 부탁드립니다. [플라즈마 식각기술, Plasma Etching] [3] 1319
470 기판 위에서 Radical의 운동역학에 관하여 질문드립니다. [2] 961
469 ICP plasma에서 RF bias에 대한 문의가 있습니다 [Self bias 및 플라즈마 방전 매커니즘] [2] 4477
468 VPS 공정에서 압력변수관련 질문입니다. [VPS] [1] 704
467 임피던스 실수부에 대해 궁금한 점이 있습니다. [플라즈마 dielectric property] [4] 2743
466 쉬쓰 천이지역에 관한 질문입니다. [Ambipolar diffusion] [1] 1367
465 Langmuir probe의 위치에 관한 질문입니다. [전자 소실 및 플라즈마 전위] [3] 1642
464 상압플라즈마 제품 원리 질문드립니다 [I-V characteristic 방전 커브] [2] 1181
» 식각 시 나타나는 micro-trench 문제 [소자 식각 데미지] [1] 2427
462 plasma etching을 관련 문의드립니다. [반도체 공동 연구소] [1] 2616
461 Wafer particle 성분 분석 [플라즈마 세정] [1] 2571
460 고온의 플라즈마와 저온의 플라즈마의 차이 [플라즈마 물리/화학적 특성, 중성입자 거동 및 자기장 성질] [1] 4221
459 charge effect에 대해 [Self bias 및 capacitively couple] [2] 1804
458 PECVD 증착에서 etching 관계 [PECVD 증착] [1] 2050
457 터보펌프 에러관련 [터보 펌프 구동 압력] [1] 2010
456 프리쉬스에 관한 질문입니다. [Ambipolar diffusion 및 collisionless sheath] [1] 842
455 부가적인 스퍼터링 관련 질문 드립니다. [라디컬의 화학반응성 및 DC 타깃 전극] [1] 1743
454 플라즈마 충격파 질문 [플라즈마 생성에 의한 충격파 현상] [1] 1037
453 ESC Cooling gas 관련 [ESC 온도 제어] [1] 3907
쓰기
태그

Boards

XE Login