Others 저온플라즈마에 대하여 ..질문드립니다 ㅠ
2012.12.12 10:08
안녕하세요 ,
저온플라즈마에 대해서 궁금한게있습니다 .
저온플라즈마의 단점이 뭔지궁금합니다 ...
어디서부터기준을잡아야할진잘모르겠네요 ..
댓글 1
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [286] | 77330 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20510 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57430 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68969 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92996 |
270 |
RPSC 시 Pressure와 Throttle Valve Position의 관계
[1] ![]() | 1229 |
269 | ICP, CCP 그리고 Ion Implantation 공정 관련 질문 드립니다. [1] | 1217 |
268 | Uniformity 관련하여 문의드립니다. [1] | 1212 |
267 | 챔버 임피던스 변화에 따른 공정변화 [1] | 1208 |
266 | MFP와 Sheath 관련하여 추가 질문 드립니다. [1] | 1199 |
265 |
O2 etch 후 polymer 변성에 관한 문의
![]() | 1194 |
264 |
전자 온도 구하기
[1] ![]() | 1193 |
263 | 대학원 진학 질문 있습니다. [2] | 1191 |
262 | 산소 플라즈마 처리 관하여 질문드립니다. [1] | 1190 |
261 | 잔류시간 Residence Time에 대해 [1] | 1186 |
260 | 식각 가스 사용 챔버의 잔류 flourine cleaning 혹은 conditioning 방법 질문 [1] | 1182 |
259 | 전자밀도 크기에 대하여 질문드립니다. (Ar, O2, N2 가스) [1] | 1176 |
258 | 공정플라즈마 [1] | 1175 |
257 | 쉬쓰 천이지역에 관한 질문입니다. [1] | 1175 |
256 | Group Delay 문의드립니다. [1] | 1169 |
255 | wafer bias [1] | 1167 |
254 | 플라즈마 주파수 예측관련 질문드립니다 [1] | 1159 |
253 | Vacuum Chamber(Etching) 내에서 열의 이동과 Byproduct 이동과의 관계. [2] | 1157 |
252 | RF 반사파와 이물과의 관계 [1] | 1157 |
251 | 엘립소미터 측정관련해서 질문이 있습니다. [1] | 1157 |