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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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ETCH 관련 RF MATCHING중 REF 현상에 대한 질문입니다. [플라즈마 응답 특성]
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플라즈마 건식식각 장비 부품 정전척 공정 진행 후 외각 He-hole 부위 burning 현상 매커니즘 문의.. [플라즈마 leak와 국부방전]
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271 |
ICP 구성에서 PLASMA IGNITON시 문의 [ICP와 플라즈마 발생]
[1] | 10419 |
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액체 안에서의 Dielectric Barrier Discharge에 관하여 질문 드립니다! [플라즈마 발생 방식과 성질]
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Remote Plasma에서 Baffle 재질에 따른 Plasma 특성 차이 [플라즈마의 유지와 쉬스]
[1] | 10753 |
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저온플라즈마에 대하여 ..질문드립니다 ㅠ
[1] | 6670 |
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공동형 플라즈마에서 구리 전극의 식각 문제 [공동형 토치의 운전법 및 방전특성이해]
[2] | 6575 |
266 |
RF & DC sputtering에 대해 질문드립니다. [RF& DC bias와 matcher의 접지]
[1] | 9454 |
265 |
Sheath와 Darkspace에 대한 질문입니다. [쉬스와 Bulk Plasma 영역]
[1] | 9193 |
264 |
플라즈마 데미지에 관하여.. [Charge의 축적과 damage]
[1] | 6740 |
263 |
VPP,VDC 어떤 FACTOR인지 알고 싶습니다. [Vpp, Vdc와 플라즈마 발생 원리]
[1] | 55888 |
262 |
수중 플라즈마에 대해 [수중 플라즈마의 화학 반응 현상]
[1] | 9123 |
261 |
[기초]CCP Type에서의 Self-Bias(-Vdc)+Vp(plasma potential)관련 질문입니다. [플라즈마 전위와 쉬스]
[1] | 13142 |
260 |
상압 플라즈마에 관하여 문의 드립니다. [DBD와 플라즈마 방전 메커니즘]
[1] | 8375 |
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플라즈마에 하나도 모르는 완전초보입니다.. 도와주십시오 ㅠㅠ [플라즈마의 진공과 가스 주입]
[1] | 10320 |
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고온 플라즈마 관련
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안녕하세요 교수님. [2차 전자 방출 메커니즘]
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Lecture를 들을 수 없나요?
[1] | 8748 |
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플라즈마가 생기는 메커니즘에 대한 질문입니다. [플라즈마 형성 과정과 파센의 법칙]
[1] | 13747 |
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MFP에 대해서.. [Collisional cross section]
[1] | 8077 |
저온 플라즈마의 단점이라고 하셨는데 저온 플라즈마를 어디에 활용할 때의 단점이라는 뜻인지,
또 저온이라는 것이 무엇 대비 얼마나 온도가 낮은 플라즈마를 뜻하는 것인지 명확한 질문 부탁합니다.