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공지 |
[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
[283]
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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346 |
ICP 내부 기체 비율에 따른 spectrum intensity 변화
[1] | 1875 |
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345 |
N2 Blowing Ionizer 사용 시 궁금점 질문 드립니다.
[1] | 1837 |
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344 |
wafer 두께가 증가함에 따라 Er이 급격하게 떨어지는 현상
[1] | 1836 |
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343 |
Edge ring과 플라즈마 밀도 균일성
[1] | 1816 |
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342 |
ICP와 CCP에서의 Breakendown voltage
[1] | 1792 |
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341 |
CVD품질과 RF Delivery power 관계 질문
[1] | 1780 |
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340 |
터보펌프 에러관련
[1] | 1779 |
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339 |
CCP기반 power와 Etch rate 관계에 대해 여쭈어드립니다.
[3] | 1729 |
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338 |
압력 변화와 Ch Impedance 상관관계 질문
[1] | 1726 |
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337 |
다중 주파수를 이용한 플라즈마 식각에서 이온 에너지 제어 관련
[1] | 1714 |
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336 |
RF 전압과 압력의 영향?
[1] | 1712 |
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335 |
standing wave effect에 대한 질문이 있습니다.
[1] | 1706 |
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334 |
EEDF, IEDF, Cross section관련 질문
[1] | 1698 |
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333 |
안녕하세요 교수님. ICP관련하여 문의드립니다.
[1] | 1691 |
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332 |
Pecvd 장비 공정 질문
[1] | 1691 |
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331 |
Ar/O2 ICP 플라즈마 관하여
[1] | 1681 |
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330 |
ICP reflecot power 관련 질문드립니다.
[1] | 1651 |
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329 |
CCP에서 전자밀도증가 -> 임피던스 감소 과정 질문있습니다.
[3] | 1642 |
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328 |
전극에 따른 힘의 크기 질문드립니다.
[1]  | 1625 |
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327 |
Matcher 구성에 따른 챔버 임피던스 영향에 대해 문의드립니다.
[1] | 1599 |
