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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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방전에서의 재질 질문입니다.
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449 |
Gas 별 Plasma 색 관련 질문입니다.
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448 |
plasma sheath 두께의 영향에 대하여 질문드립니다.
[2] | 3521 |
447 |
Bias 관련 질문 드립니다.
[1] | 3510 |
446 |
RF Power와 균일도 연관성 질문드립니다.
[2] | 3499 |
445 |
RF plasma 증착 시 arcing 관련하여 질문드립니다.
[1] | 3471 |
444 |
코로나 방전의 속도에 관하여...
[1] | 3454 |
443 |
PECVD Precursor 별 Arcing 원인
[1] | 3408 |
442 |
Matcher의 Load/Tune Position 거동에 관해 질문이 있습니다.
[2] | 3361 |
441 |
PP & PET 친수성과 접착성 유지 질문입니다.
[1] | 3352 |
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Etcher Chamber Wall에 의도적으로 Polymer를 증착시키고 싶습니다.
[2] | 3351 |
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electron energy distribution에 대해서 질문드립니다.
[2] | 3286 |
438 |
matcher, ESC, Heater에 대해 질문 드립니다.
[3] | 3262 |
437 |
CVD 공정에서의 self bias
[1] | 3232 |
436 |
M/W, RF의 Plasma에 의한 Ashing 관련 문의드립니다.
[1] | 3210 |
435 |
아르곤이나 기타 플라즈마 토치에 소량의 수증기를 집어넣으면 온도가 떨어지는 현상에 대해서
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Gas flow rate에 따른 etch rate의 변화가 궁금합니다.
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고온의 플라즈마와 저온의 플라즈마의 차이
[1] | 3094 |
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Plasma etcher particle 원인
[1] | 3082 |
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Plasma 에칭 후 정전기 처리
[3] | 3080 |