온도의 차이 말고도 다른 차이가 있나요?

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공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 72403
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472 dry etching중 온도, 진공도, glass상태에 따라 chucking force가 변화하는지요? [표면 하전 특성 및 chucking 불안정성] [1] 4084
471 Plasma Etching 교재 추천 부탁드립니다. [플라즈마 식각기술, Plasma Etching] [3] 1319
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469 ICP plasma에서 RF bias에 대한 문의가 있습니다 [Self bias 및 플라즈마 방전 매커니즘] [2] 4477
468 VPS 공정에서 압력변수관련 질문입니다. [VPS] [1] 704
467 임피던스 실수부에 대해 궁금한 점이 있습니다. [플라즈마 dielectric property] [4] 2743
466 쉬쓰 천이지역에 관한 질문입니다. [Ambipolar diffusion] [1] 1367
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464 상압플라즈마 제품 원리 질문드립니다 [I-V characteristic 방전 커브] [2] 1181
463 식각 시 나타나는 micro-trench 문제 [소자 식각 데미지] [1] 2427
462 plasma etching을 관련 문의드립니다. [반도체 공동 연구소] [1] 2616
461 Wafer particle 성분 분석 [플라즈마 세정] [1] 2571
» 고온의 플라즈마와 저온의 플라즈마의 차이 [플라즈마 물리/화학적 특성, 중성입자 거동 및 자기장 성질] [1] 4221
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458 PECVD 증착에서 etching 관계 [PECVD 증착] [1] 2050
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456 프리쉬스에 관한 질문입니다. [Ambipolar diffusion 및 collisionless sheath] [1] 842
455 부가적인 스퍼터링 관련 질문 드립니다. [라디컬의 화학반응성 및 DC 타깃 전극] [1] 1743
454 플라즈마 충격파 질문 [플라즈마 생성에 의한 충격파 현상] [1] 1037
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