Plasma Source 고온의 플라즈마와 저온의 플라즈마의 차이
2019.03.25 18:08
온도의 차이 말고도 다른 차이가 있나요?
댓글 1
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [286] | 77301 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20498 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57414 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68948 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92988 |
| 470 | 기판 위에서 Radical의 운동역학에 관하여 질문드립니다. [2] | 748 |
| 469 | ICP plasma에서 RF bias에 대한 문의가 있습니다 [2] | 4065 |
| 468 | VPS 공정에서 압력변수관련 질문입니다. [1] | 436 |
| 467 | 임피던스 실수부에 대해 궁금한 점이 있습니다. [4] | 2410 |
| 466 | 쉬쓰 천이지역에 관한 질문입니다. [1] | 1175 |
| 465 | Langmuir probe의 위치에 관한 질문입니다. [3] | 1380 |
| 464 | 상압플라즈마 제품 원리 질문드립니다 [2] | 969 |
| 463 | 식각 시 나타나는 micro-trench 문제 [1] | 2058 |
| 462 | plasma etching을 관련 문의드립니다. [1] | 2448 |
| 461 | Wafer particle 성분 분석 [1] | 2355 |
| » | 고온의 플라즈마와 저온의 플라즈마의 차이 [1] | 3082 |
| 459 | charge effect에 대해 [2] | 1520 |
| 458 | PECVD 증착에서 etching 관계 [1] | 1564 |
| 457 | 터보펌프 에러관련 [1] | 1788 |
| 456 | 프리쉬스에 관한 질문입니다. [1] | 609 |
| 455 | 부가적인 스퍼터링 관련 질문 드립니다. [1] | 1441 |
| 454 | 플라즈마 충격파 질문 [1] | 818 |
| 453 | ESC Cooling gas 관련 [1] | 3597 |
| 452 | O2 Plasma 에칭 실험이요 [1] | 975 |
| 451 | 플라즈마 코팅 [1] | 1048 |