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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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RF Power 인가 시 Gas Ramping Flow 이유
[1] | 1304 |
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플라즈마에서 가속 전압 또는 RF 파워 관련 질문드려요.
[1] | 1344 |
177 |
low pressure 영역에서 아킹이 더 쉽게 발생하는 이유에 관해 문의드립니댜.
[1] | 1380 |
176 |
CVD 막질의 성질에 대해 질문드립니다.
[1] | 1380 |
175 |
Plasma Cleaning 관련 문의
[1] | 1403 |
174 |
플라즈마 내에서의 현상
[1] | 1407 |
173 |
O2 plasma etching 관련 질문이 있습니다.
[1] | 1445 |
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플라즈마 관련 교육
[1] | 1445 |
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PECVD 공정 진행중 chamber wall 부분에서 보이는 plasma instability 관련 질문 드립니다.
[1] | 1455 |
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강의를 들을 수 없는건가요?
[2] | 1466 |
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플라즈마 rotational temperature에 관해서 질문드릴게 있습니다.
[1] | 1478 |
168 |
데포 중 RF VDC DROP 현상
[1] | 1546 |
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glow 방전 현상과 플라즈마 현상에 궁금하여 글 남깁니다.
[2] | 1562 |
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O2 플라즈마 클리닝 관련 질문
[1] | 1578 |
165 |
다중 주파수를 이용한 플라즈마 식각에서 이온 에너지 제어 관련
[1] | 1719 |
164 |
standing wave effect에 대한 질문이 있습니다.
[1] | 1722 |
163 |
RF 전압과 압력의 영향?
[1] | 1727 |
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CCP기반 power와 Etch rate 관계에 대해 여쭈어드립니다.
[3] | 1743 |
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Edge ring과 플라즈마 밀도 균일성
[1] | 1828 |
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공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 답변 정말 감사합니다!
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