ESC ESC Chuck Pit 현상관련 문의 드립니다.

2014.06.03 09:05

주민호 조회 수:16975

안녕하세요. 

식각공정 설비 Eng'r로 근무하고 있는데요. 

최근 Metal 식각을 하는 설비의 ESC Chuck에 이전에는 보지 못한 현상이 있어 이렇게 문의 드립니다.

첨부한 그림에서 처럼 ESC Chuck Center 부위에 Pit 현상이 발생하고 있습니다.

BIPOLAR ESC구요.  Chucking 전압은 700v이고 Dechuck전압은 -700v 입니다.

이런 현상이 발생하는 요인으로 어떤 것들이 있는지.....

바쁘시겠지만 답변 부탁드립니다.

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [282] 77208
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20465
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57361
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68900
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92946
106 analog tuner관련해서 질문드립니다. [1] 667
105 정전척의 chucking voltage 범위가 궁금합니다. [1] 757
104 RF Frequency 가변과 FORWARD POWER의 상관관계 [2] 834
103 RF 파워서플라이 매칭 문제 843
102 매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다. [1] 861
101 연면거리에 대해 궁금합니다. [1] 866
100 ICP BIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다ICP BIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다 [1] file 886
99 Dry Chamber VPP 변동 관련 질문입니다 [1] 911
98 플라즈마를 이용한 오존 발생기 개발 문의 件 [1] 976
97 고진공 만드는방법. [1] 1020
96 RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다. [1] 1025
95 Plasma Arching [1] 1095
94 RF 반사파와 이물과의 관계 [1] 1150
93 대학원 진학 질문 있습니다. [2] 1180
92 임피던스 매칭 및 플라즈마 진단 [1] 1296
91 CCP 챔버 접지 질문드립니다. [1] file 1350
90 반도체 관련 플라즈마 실험 [1] 1368
89 MATCHER 발열 문제 [3] 1449
88 ESC Polymer cracking 제거를 위한 ISD 공정 문의 1464
87 rf chamber 내에 생기는 byproduct에 대한 질문 있습니다. [1] 1473
쓰기
태그

Boards

XE Login