안녕하세요. 

식각공정 설비 Eng'r로 근무하고 있는데요. 

최근 Metal 식각을 하는 설비의 ESC Chuck에 이전에는 보지 못한 현상이 있어 이렇게 문의 드립니다.

첨부한 그림에서 처럼 ESC Chuck Center 부위에 Pit 현상이 발생하고 있습니다.

BIPOLAR ESC구요.  Chucking 전압은 700v이고 Dechuck전압은 -700v 입니다.

이런 현상이 발생하는 요인으로 어떤 것들이 있는지.....

바쁘시겠지만 답변 부탁드립니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [322] 87702
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 22784
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 59500
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 71275
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 98880
289 양극 코로나 방전에 대한 질문입니다. [이차 전자의 방출 특성] [1] 2311
288 13.56MHz resonator 해석 관련 문의 [Resonator의 matching] [1] 2086
287 플라즈마 밀도 관련 문의 드립니다. [대기압 플라즈마와 라디컬 생성] [1] 2847
286 자료 요청드립니다. [1] 6371
» ESC Chuck Pit 현상관련 문의 드립니다. file 17136
284 아르곤이나 기타 플라즈마 토치에 소량의 수증기를 집어넣으면 온도가 떨어지는 현상에 대해서 3218
283 저온플라즈마에 관해서 [플라즈마 방전의 특성] [1] 6965
282 플라즈마 rotational temperature에 관해서 질문드릴게 있습니다. [플라즈마 토치에서의 Rotational temperature] [1] 1649
281 방전에서의 재질 질문입니다. [방전과 전압] [1] 3707
280 RF calibration에 대해 질문드립니다. 6079
279 N2 환겨에서의 코로나 방전을 통한 이온생성에 대한 질문입니다. [방전 장치의 플라즈마 성능 평가] [1] file 8828
278 the lines of magnetic induction are frozen into the perfectly conducting material에 대한 질문 [Ideal MHD plasma의 magnetic flux conservation] [1] file 4064
277 정전척 isolation문의 입니다. [Paschen's law와 절연파괴현상] [1] 7908
276 Microwave 장비 관련 질문 [RF Plasma의 주파수에 따른 파장의 길이] [1] 8745
275 플라즈마 균일도에 대해서 질문드립니다. [플라즈마 밀도와 중성 가스의 균일도] [1] 8265
274 진공챔버내에서 플라즈마 발생 문의 [플라즈마의 형성 원리] [1] 9527
273 ETCH 관련 RF MATCHING중 REF 현상에 대한 질문입니다. [플라즈마 응답 특성] [1] 7388
272 플라즈마 건식식각 장비 부품 정전척 공정 진행 후 외각 He-hole 부위 burning 현상 매커니즘 문의.. [플라즈마 leak와 국부방전] [1] 6671
271 ICP 구성에서 PLASMA IGNITON시 문의 [ICP와 플라즈마 발생] [1] 10208
270 액체 안에서의 Dielectric Barrier Discharge에 관하여 질문 드립니다! [플라즈마 발생 방식과 성질] [1] 6505

Boards


XE Login