ESC ESC Chuck Pit 현상관련 문의 드립니다.

2014.06.03 09:05

주민호 조회 수:16946

안녕하세요. 

식각공정 설비 Eng'r로 근무하고 있는데요. 

최근 Metal 식각을 하는 설비의 ESC Chuck에 이전에는 보지 못한 현상이 있어 이렇게 문의 드립니다.

첨부한 그림에서 처럼 ESC Chuck Center 부위에 Pit 현상이 발생하고 있습니다.

BIPOLAR ESC구요.  Chucking 전압은 700v이고 Dechuck전압은 -700v 입니다.

이런 현상이 발생하는 요인으로 어떤 것들이 있는지.....

바쁘시겠지만 답변 부탁드립니다.

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [269] 76736
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20206
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57168
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68702
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92280
289 양극 코로나 방전에 대한 질문입니다. [1] 2173
288 13.56MHz resonator 해석 관련 문의 [1] 1950
287 플라즈마 밀도 관련 문의 드립니다. [1] 2686
286 자료 요청드립니다. [1] 6207
» ESC Chuck Pit 현상관련 문의 드립니다. file 16946
284 아르곤이나 기타 플라즈마 토치에 소량의 수증기를 집어넣으면 온도가 떨어지는 현상에 대해서 3165
283 저온 플라즈마에 관해서 [1] 6648
282 플라즈마 rotational temperature에 관해서 질문드릴게 있습니다. [1] 1463
281 방전에서의 재질 질문입니다. [1] 3557
280 RF calibration에 대해 질문드립니다. 5806
279 N2 환경에서의 코로나 방전을 통한 이온생성에 대한 질문입니다. [1] file 8618
278 the lines of magnetic  induction are frozen into the perfectly conducting material에 대한 질문 [1] file 3977
277 정전척 isolation 문의 입니다. [1] 7619
276 Microwave 장비 관련 질문 [1] 8573
275 플라즈마 균일도에 대해서 질문드립니다. [1] 8034
274 진공챔버내에서 플라즈마 발생 문의 [1] 9230
273 ETCH 관련 RF MATCHING 중 REF 현상에 대한 질문입니다. [1] 7088
272 플라즈마 건식식각 장비 부품 정전척 공정 진행 후 외각 He-hole 부위 burning 현상 매카니즘 문의.. [1] 6472
271 ICP 구성에서 PLASMA IGNITION시 문의 [1] 9849
270 액체 안에서의 Dielectric Barrier Discharge에 관하여 질문드립니다! [1] 6410
쓰기
태그

Boards

XE Login