Others Surface wave plasma 조건에 관해 질문드립니다.

2024.06.13 15:23

민수킴 조회 수:46

안녕하세요

 

2.45[GHz]를 사용하는 마이크로웨이브 플라즈마에서

Electric field가 chamber 내부로 투과하는것이 아닌 유전체와 플라즈마 경계에 Surface wave mode로 형성되는 조건이 궁금해서 문의드립니다.

 

일반적으로 2.45[GHz]에서 cut-off density가 7.4x10^11[1/m^3] 로 알고있는데 이 cut-off density 이상의 플라즈마 밀도가 형성되면 surface wave mode로 작동하는 것이 맞을까요?

 

항상 홈페이지에서 많이 배우고 있습니다.

 

교수님의 고견을 여쭙습니다.

 

감사합니다.

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