온도의 차이 말고도 다른 차이가 있나요?

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472 dry etching중 온도, 진공도, glass상태에 따라 chucking force가 변화하는지요? [표면 하전 특성 및 chucking 불안정성] [1] 4131
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468 VPS 공정에서 압력변수관련 질문입니다. [VPS] [1] 744
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463 식각 시 나타나는 micro-trench 문제 [소자 식각 데미지] [1] 2497
462 plasma etching을 관련 문의드립니다. [반도체 공동 연구소] [1] 2632
461 Wafer particle 성분 분석 [플라즈마 세정] [1] 2601
» 고온의 플라즈마와 저온의 플라즈마의 차이 [플라즈마 물리/화학적 특성, 중성입자 거동 및 자기장 성질] [1] 4337
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