Ion/Electron Temperature OES를 활용한 excitation temperature 분석 질문입니다.
2018.10.01 19:05
안녕하십니까? 대학원에서 플라즈마 상태에 따른 박막의 특성을 연구하고 있는 학생입니다.
현재 연구실에서 OES를 사용하고 있는데, 분석 법 중에서 Actinometry 법 외에 excitation temperature를 구할 수 있는 것을 뒤늦게서야 알게 됐습니다.
몇몇 논문을 봤을 때 랭뮤어 탐침 법으로 electron temperature를 구하고, OES로 excitation temperature를 구한 결과를 비교했을 때 같은 경향성을 나타낸다고 봤습니다.
여기서 몇 가지 질문할 사항이 있습니다.
1. 그렇다면 OES를 통해 확인하고자 하는 species의 excitation temperature를 구하여, species가 플라즈마 내에서 대략적으로 어떠한 상태인지를 경향성을 확인할 수 있지 않나요?
2. 그리고 electron temperature와 excitation temperature의 차이를 명확하게 모르겠습니다. 간단하게 설명을 부탁드릴 수 있을까요?
감사합니다!.
댓글 1
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [278] | 76897 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20286 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57205 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68759 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92719 |
439 | 플라즈마 세라믹코팅후 붉은 이유는? | 2336 |
438 | Pecvd 장비 공정 질문 [1] | 1677 |
437 | CCP 챔버 접지 질문드립니다. [1] | 1341 |
436 | DRY Etcher Alram : He Flow 관점 문의 드립니다. [1] | 2359 |
435 | Gas 별 Plasma 색 관련 질문입니다. [1] | 3495 |
434 | RF magnetron sputtering시 플라즈마 off현상 [1] | 690 |
433 | RF Generator 주파주에 따른 Mathcer Vrms 변화. [1] | 1209 |
432 | 플라즈마 self bias 값과 압력, 파워의 상관관계에 대해 질문이 있습니다. [1] | 2146 |
431 | 산소 플라즈마에 대한 질문입니다... | 491 |
430 | 수중 속 저온 플라즈마 방전 관련 질문 드립니다 [2] | 594 |
429 | 자기 거울에 관하여 | 1146 |
428 | 플라즈마 장치 관련 기초적 질문입니다. [1] | 829 |
427 | Descum 관련 문의 사항. [1] | 3746 |
426 | RPC CLEAN 시 THD 발생 [1] | 645 |
425 | Plasma Generator 관련해서요. [1] | 913 |
424 | Plasma 발생영역에 관한 질문 [2] | 1460 |
423 | glass에 air plasma 후 반응에 대해 질문이 있습니다. [1] | 449 |
» | OES를 활용한 excitation temperature 분석 질문입니다. [1] | 5937 |
421 | 챔버 임피던스 변화에 따른 공정변화 [1] | 1195 |
420 | 해수에서 플라즈마 방전 극대화 방안 [1] | 518 |