안녕하세요 , 


저온플라즈마에 대해서 궁금한게있습니다 .

저온플라즈마의 단점이 뭔지궁금합니다 ...

어디서부터기준을잡아야할진잘모르겠네요 ..


번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [279] 77026
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20351
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57274
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68819
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92819
281 방전에서의 재질 질문입니다. [1] 3561
280 RF calibration에 대해 질문드립니다. 5849
279 N2 환경에서의 코로나 방전을 통한 이온생성에 대한 질문입니다. [1] file 8625
278 the lines of magnetic  induction are frozen into the perfectly conducting material에 대한 질문 [1] file 3979
277 정전척 isolation 문의 입니다. [1] 7660
276 Microwave 장비 관련 질문 [1] 8586
275 플라즈마 균일도에 대해서 질문드립니다. [1] 8063
274 진공챔버내에서 플라즈마 발생 문의 [1] 9262
273 ETCH 관련 RF MATCHING 중 REF 현상에 대한 질문입니다. [1] 7122
272 플라즈마 건식식각 장비 부품 정전척 공정 진행 후 외각 He-hole 부위 burning 현상 매카니즘 문의.. [1] 6500
271 ICP 구성에서 PLASMA IGNITION시 문의 [1] 9893
270 액체 안에서의 Dielectric Barrier Discharge에 관하여 질문드립니다! [1] 6410
269 Remote Plasma에서 Baffle 재질에 따른 Plasma 특성 차이 [1] 10386
» 저온플라즈마에 대하여 ..질문드립니다 ㅠ [1] 6475
267 공동형 플라즈마에서 구리 전극의 식각 문제 [2] 6369
266 RF & DC sputtering에 대해 질문드립니다. [1] 9012
265 Sheath와 Darkspace에 대한 질문입니다. [1] 8936
264 플라즈마 데미지에 관하여.. [1] 6501
263 VPP, VDC 어떤 FACTOR 인지 알고 싶습니다. [1] 54977
262 수중플라즈마에 대해 [1] 8763

Boards


XE Login