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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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ICP 내부 기체 비율에 따른 spectrum intensity 변화
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N2 Blowing Ionizer 사용 시 궁금점 질문 드립니다.
[1] | 1829 |
340 |
wafer 두께가 증가함에 따라 Er이 급격하게 떨어지는 현상
[1] | 1827 |
339 |
Edge ring과 플라즈마 밀도 균일성
[1] | 1801 |
338 |
ICP와 CCP에서의 Breakendown voltage
[1] | 1780 |
337 |
터보펌프 에러관련
[1] | 1773 |
336 |
CVD품질과 RF Delivery power 관계 질문
[1] | 1769 |
335 |
CCP기반 power와 Etch rate 관계에 대해 여쭈어드립니다.
[3] | 1718 |
334 |
압력 변화와 Ch Impedance 상관관계 질문
[1] | 1717 |
333 |
다중 주파수를 이용한 플라즈마 식각에서 이온 에너지 제어 관련
[1] | 1711 |
332 |
RF 전압과 압력의 영향?
[1] | 1702 |
331 |
EEDF, IEDF, Cross section관련 질문
[1] | 1688 |
330 |
Pecvd 장비 공정 질문
[1] | 1685 |
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안녕하세요 교수님. ICP관련하여 문의드립니다.
[1] | 1683 |
328 |
Ar/O2 ICP 플라즈마 관하여
[1] | 1677 |
327 |
standing wave effect에 대한 질문이 있습니다.
[1] | 1674 |
326 |
ICP reflecot power 관련 질문드립니다.
[1] | 1640 |
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CCP에서 전자밀도증가 -> 임피던스 감소 과정 질문있습니다.
[3] | 1637 |
324 |
전극에 따른 힘의 크기 질문드립니다.
[1] | 1617 |
323 |
Matcher 구성에 따른 챔버 임피던스 영향에 대해 문의드립니다.
[1] | 1576 |
저온 플라즈마의 단점이라고 하셨는데 저온 플라즈마를 어디에 활용할 때의 단점이라는 뜻인지,
또 저온이라는 것이 무엇 대비 얼마나 온도가 낮은 플라즈마를 뜻하는 것인지 명확한 질문 부탁합니다.