ESC ESC Chuck Pit 현상관련 문의 드립니다.

2014.06.03 09:05

주민호 조회 수:18173

안녕하세요. 

식각공정 설비 Eng'r로 근무하고 있는데요. 

최근 Metal 식각을 하는 설비의 ESC Chuck에 이전에는 보지 못한 현상이 있어 이렇게 문의 드립니다.

첨부한 그림에서 처럼 ESC Chuck Center 부위에 Pit 현상이 발생하고 있습니다.

BIPOLAR ESC구요.  Chucking 전압은 700v이고 Dechuck전압은 -700v 입니다.

이런 현상이 발생하는 요인으로 어떤 것들이 있는지.....

바쁘시겠지만 답변 부탁드립니다.

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [338] 232233
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 67780
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 104879
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 117069
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 199316
298 M/W, RF의 Plasma에 의한 Ashing 관련 문의드립니다. [DC 글로우 방전 및 Breakdown] [1] 5869
297 저온 플라즈마 장비에 관련하여 자문을 구합니다. 10688
296 Bipolar, J-R Type Electrostatic Chuck 에서의 Discharge 원리가 궁금합니다. 21835
295 DBDs 액츄에이터에 관한 질문입니다. [Plasma actuator와 DBD 방법] [3] 3790
294 N2 Blowing Ionizer 사용 시 궁금점 질문 드립니다. [N2 Ionizer 이온 및 중성 입자 해석] [1] 4004
293 부도체를 타겟으로 한 플라즈마 형성 원리 [Self bias의 이해] [1] 4674
292 수방전 플라즈마 살균 관련.. 문의 드립니다. [플라즈마 기술 센터 문의] [1] 3784
291 HF+LF 사용 중. HF Power 증가 시 Depostion Rate 감소 현상 문의 [전자의 에너지와 중성입자와의 충돌] [1] 5083
290 수중 방전 관련 질문입니다. [수중 방전 플라즈마의 특징] [1] 12279
289 양극 코로나 방전에 대한 질문입니다. [이차 전자의 방출 특성] [1] 4614
288 13.56MHz resonator 해석 관련 문의 [Resonator의 matching] [1] 3713
287 플라즈마 밀도 관련 문의 드립니다. [대기압 플라즈마와 라디컬 생성] [1] 4991
286 자료 요청드립니다. [1] 8905
» ESC Chuck Pit 현상관련 문의 드립니다. file 18173
284 아르곤이나 기타 플라즈마 토치에 소량의 수증기를 집어넣으면 온도가 떨어지는 현상에 대해서 4084
283 저온플라즈마에 관해서 [플라즈마 방전의 특성] [1] 8332
282 플라즈마 rotational temperature에 관해서 질문드릴게 있습니다. [플라즈마 토치에서의 Rotational temperature] [1] 3966
281 방전에서의 재질 질문입니다. [방전과 전압] [1] 5982
280 RF calibration에 대해 질문드립니다. 6922
279 N2 환겨에서의 코로나 방전을 통한 이온생성에 대한 질문입니다. [방전 장치의 플라즈마 성능 평가] [1] file 11087
쓰기
태그

Boards

XE Login