Plasma Information Based Virtual Metrology (PI-VM) for Nitride Thickness in Multi-Layer PECVD

2017.11.06 14:07

노현준 조회 수:753

학회명 American Vacuum Society 
연도 2017 
수상자 Hyun-Joon Roh 
상명 John Coburn and Harold Winters Student Award 

AVS 64th International Symposium & Exhibition

John Coburn and Harold Winters Student Award in Plasma Science and Technology


관련 기사 링크(http://eng.snu.ac.kr/node/15187)

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