| 한국반도체디스플레이기술학회 | 2025 | 우수논문상 | 배남재 |
아르곤-산소 플라즈마 쉬스 경계 이온 속도 분포 변화에 미치는 이온-중성입자 충돌성 연구
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| 한국반도체디스플레이기술학회 | 2025 | 우수논문상 | 임재민 |
극저온 식각 조건 표면 탈착 변화와 플라즈마 조사에 의한 중성종 수송 영향 연구
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| KVS | 2023 | 학부생 포스터 발표상 | 임재민 |
유도 결합 플라즈마의 변압기 회로 모델 기반 용량성-유도성 전력 결합 특성 해석
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| KAPRA & KPS/DPP | 2023 | 우수 포스터 발표상 | 노기백 |
Enhancement of Sputtering Yield on Tungsten with Argon Ion Fluence
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| 1st International Fusion and Plasma Conference | 2022 | Best Poster Award | 송재민 |
Plasma information based Advanced Process Controller for Plasma Etch Process
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| KAPRA & KPS/DPP | 2022 | 우수 포스터 발표상 | 배남재 |
고종횡비 식각 공정의 표면 식각/증착 반응 모델 적용 플라즈마 정보 인자 기반 하드 마스크 넥킹 가상 계측 기술 개발
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| AEC/APC Symposium Asia 2021 | 2021 | Student Award | 권지원 |
Development of Si Etch Profile Virtual Metrology using Plasma Information(PI-VM) in SF6/O2/Ar Capacitively Coupled Plasma
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| KAPRA & KPS/DPP | 2021 | 우수 포스터 발표상 | 송재민 |
장비 플라즈마 데이터 기반 지능형 제어 시스템 개발
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| ISSM | 2018 | Best Paper Award | 유상원 |
Real-time Etch Control to Reduce First Wafer Effect in SF6/O2/Ar Plasma
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| 한국반도체디스플레이기술학회 | 2018 | 우수논문상 | 권지원 |
Development of Second Positive System based N2 Collisional Radiative Model
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| 한국표면공학회 | 2018 | 우수 포스터 발표상 | 노기백 |
ELM 고열속 인가에 따른 텅스텐의 결정 성장 및 균열 발생 심화 관찰
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| ICMAP | 2018 | Best Poster Award | 유상원 |
Model Predictive Control of Electron Density for Ar/SF6 Etching Plasma
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| ICMAP | 2018 | Best Poster Award | 노기백 |
Enhancement of Crack through the Depth of Grain Growth on Tungsten under Transient High Heat Flux
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| 한국반도체디스플레이기술학회 | 2018 | 우수논문상 | 장윤창 |
플라즈마 정보 인자를 이용한 SiO2 식각율 가상계측 개발 방법론
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| 한국반도체디스플레이기술학회 | 2017 | 우수논문상 | 노현준 |
반도체/디스플레이 공정 진단 및 제어를 위한 플라즈마 정보 생성 방법론 소개
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| American Vacuum Society | 2017 | John Coburn and Harold Winters Student Award | Hyun-Joon Roh |
Plasma Information Based Virtual Metrology (PI-VM) for Nitride Thickness in Multi-Layer PECVD
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| 한국반도체디스플레이기술학회 | 2017 | 최우수논문상 | 노현준 |
장비 지능화를 위한 플라즈마 정보 기반의 가상 계측 모델 개발
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| 한국반도체학술대회 | 2017 | Best Poster Award | 유상원 |
Development of Phenomenological Model Based RF Power - Electron Density Controller for SF6/Ar Etch Plasma
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| K-J Seminar | 2016 | Best Poster Award | 김남균 |
Observation of Ions’ Motion near a Multi-Ion-Species and Weakly-Magnetized Plasma Sheath
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| KAPRA | 2016 | 최우수 포스터 상 | 배병준 |
충돌성 음극 쉬스 모델을 통한 대기압 유전체 격벽 방전기의 음극 강하 영역 크기 연구
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