Plasma Source RF 변화에 영향이 있는건가요?
2018.09.06 07:36
반도체 공정과 관련하여 DIFF 공정 진행 간, TEMP와 RF 간에 상관 관계가 궁금하여 문의 드립니다.
NH3의 분해와 관련하여 상온 기준 RF POWER를 인가한다고 했을때 분해 가능한 수준이 어느 정도인지 궁금합니다.(W 기준)
그리고 추가로 문의 드리고 싶은 사항은 TEMP와 RF 간에 상관 관계입니다. TEMP가 변화하는 정도에 따른 RF의 변화 정도가 어떻게 되는지 궁금해서 문의 드립니다.
정답이 힘들다면 참고 및 이해할 수 있는 답변을 좀 부탁 드립니다.
댓글 0
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [266] | 76675 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20149 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57149 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68670 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92177 |
| 427 | Descum 관련 문의 사항. [1] | 3715 |
| 426 | RPC CLEAN 시 THD 발생 [1] | 632 |
| 425 | Plasma Generator 관련해서요. [1] | 907 |
| 424 | Plasma 발생영역에 관한 질문 [2] | 1451 |
| 423 | glass에 air plasma 후 반응에 대해 질문이 있습니다. [1] | 445 |
| 422 | OES를 활용한 excitation temperature 분석 질문입니다. [1] | 5923 |
| 421 | 챔버 임피던스 변화에 따른 공정변화 [1] | 1179 |
| 420 |
해수에서 플라즈마 방전 극대화 방안
[1]  | 516 |
| 419 |
고전압 방전 전기장 내 측정
[1] | 1061 |
| » | RF 변화에 영향이 있는건가요? | 17510 |
| 417 | 코로나 방전 처리 장비 문의드립니다. [1] | 466 |
| 416 | RIE 공정시에 형성되는 두 효과를 분리해 보고 싶습니다. [1] | 841 |
| 415 | 코로나 전류가 0가까이 떨어지는 현상 [1] | 709 |
| 414 | etching에 관한 질문입니다. [1] | 2255 |
| 413 | 코로나 방전의 속도에 관하여... [1] | 3441 |
| 412 | RF Vpp 관련하여 문의드립니다. [1] | 5672 |
| 411 | DRAM과 NAND에칭 공정의 차이 [1] | 5449 |
| 410 | (PAP)plasma absorption probe관련 질문 [1] | 481 |
| 409 | Si Wafer Broken [2] | 2500 |
| 408 | Depo시 RF 초기 Reflect 관련하여 문의드립니다. [1] | 1419 |