Plasma Source RF 변화에 영향이 있는건가요?
2018.09.06 07:36
반도체 공정과 관련하여 DIFF 공정 진행 간, TEMP와 RF 간에 상관 관계가 궁금하여 문의 드립니다.
NH3의 분해와 관련하여 상온 기준 RF POWER를 인가한다고 했을때 분해 가능한 수준이 어느 정도인지 궁금합니다.(W 기준)
그리고 추가로 문의 드리고 싶은 사항은 TEMP와 RF 간에 상관 관계입니다. TEMP가 변화하는 정도에 따른 RF의 변화 정도가 어떻게 되는지 궁금해서 문의 드립니다.
정답이 힘들다면 참고 및 이해할 수 있는 답변을 좀 부탁 드립니다.
댓글 0
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [286] | 77301 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20498 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57414 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68946 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92988 |
| 550 | 플라즈마 분배에 관하여 정보를 얻고 싶습니다. | 13215 |
| 549 | 플라즈마가 생기는 메커니즘에 대한 질문입니다. [1] | 13083 |
| 548 | [기초]CCP Type에서의 Self-Bias(-Vdc) + Vp (plasma potential) 관련 질문입니다. [1] | 12826 |
| 547 | 반응기의 면적에 대한 질문 | 12820 |
| 546 | ICP와 CCP의 차이 [3] | 12601 |
| 545 | 플라즈마에 대해서 꼭알고 싶은거 있는데요.. | 12377 |
| 544 | Arcing(아킹) 현상 및 local plasma 관련 문의 [1] | 11738 |
| 543 | N2, Ar Plasma Treatment 질문입니다. [1] | 11618 |
| 542 | 플라즈마 살균 방식 [2] | 11521 |
| 541 | DC bias (Self bias) [3] | 11370 |
| 540 | matcher에서 load,tune의 역할이 궁금합니다. [1] | 10637 |
| 539 | RGA에 대해서 | 10559 |
| 538 | Remote Plasma에서 Baffle 재질에 따른 Plasma 특성 차이 [1] | 10409 |
| 537 | 플라즈마 PIC 질문드립니다. [1] | 10405 |
| 536 | 미국의 RF 관련 회사 문의드립니다. [1] | 10340 |
| 535 | 플라즈마에 하나도 모르는 완전초보입니다..도와주십시오ㅠㅠ [1] | 10052 |
| 534 | ICP 구성에서 PLASMA IGNITION시 문의 [1] | 9919 |
| 533 | 저온 플라즈마 장비에 관련하여 자문을 구합니다. | 9849 |
| 532 | 수중 방전 관련 질문입니다. [1] | 9689 |
| 531 | 대기압 플라즈마에 대해서 | 9662 |