안녕하세요. 저는 유니스트에 재학중인 대학원생입니다.


이전에도 ICP CVD에 대해서 질문을 올렸었는데 그때 답변을 보고 문제점이 무엇인지 알수 있었습니다. 너무나 감사합니다.


그래서 이번에도 질문이 생겨 다시한번 찾아오게 되었습니다.


이번에 궁금한 점은 ICP CVD의 sample stage나 substrate에 magnetic property가 존재할 경우 plasma의 거동이 변하는지 변한다면 어떤식으로 변하게 될지 궁금하여 질문을 드립니다.


제가 찾아본 자료들을 보면 sample stage에 bias를 걸어서 deposition rate을 조절할수 있다는 자료들을 찾아 봤었습니다.


 그러다 문득 생각난게 magnetic field도 유사한 결과를 보여줄것 같은데 이렇게 생각해도 되는지 궁금합니다.


혹시 관련된 서적이나 논문 자료등 추천해주실 만한 자료가 있으시면 염치 불구하고 부탁드리겠습니다.


감사합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [265] 76539
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20076
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57115
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68613
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91695
443 Frequnecy에 따라 플라즈마 영역이 달라질까요? [1] 555
442 Ar/O2 ICP 플라즈마 관하여 [1] 1655
441 염소발생 전기분해 시 스파크 발생에 관해 질문드립니다. [1] file 389
» magnetic substrate와 플라즈마 거동 [3] 469
439 플라즈마 세라믹코팅후 붉은 이유는? 2318
438 Pecvd 장비 공정 질문 [1] 1637
437 CCP 챔버 접지 질문드립니다. [1] file 1318
436 DRY Etcher Alram : He Flow 관점 문의 드립니다. [1] 2247
435 Gas 별 Plasma 색 관련 질문입니다. [1] 3390
434 RF magnetron sputtering시 플라즈마 off현상 [1] 650
433 RF Generator 주파주에 따른 Mathcer Vrms 변화. [1] 1176
432 플라즈마 self bias 값과 압력, 파워의 상관관계에 대해 질문이 있습니다. [1] 2089
431 산소 플라즈마에 대한 질문입니다... 480
430 수중 속 저온 플라즈마 방전 관련 질문 드립니다 [2] file 581
429 자기 거울에 관하여 1130
428 플라즈마 장치 관련 기초적 질문입니다. [1] 818
427 Descum 관련 문의 사항. [1] 3698
426 RPC CLEAN 시 THD 발생 [1] 628
425 Plasma Generator 관련해서요. [1] 905
424 Plasma 발생영역에 관한 질문 [2] 1448

Boards


XE Login