Development of Si Etch Profile Virtual Metrology using Plasma Information(PI-VM) in SF6/O2/Ar Capacitively Coupled Plasma

2021.11.16 20:18

권지원 조회 수:646

학회명 AEC/APC Symposium Asia 2021 
연도 2021 
수상자 권지원 
상명 Student Award 

AEC/APC Symposium Asia 2021 Student Award

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