Process 전자기장 및 유체 시뮬레이션 관련 [핵융합 연구소]

2019.11.20 18:31

베컴 조회 수:792

안녕하십니까?

 

현업에서 일하면서, 정전척관련 업무를 진행하고 있습니다.

 

유체와 전자기장 관련 아킹이라던지/유전상수에 따른 전자기장 분포 등에 대한 분석을 하고 싶은데,

 

추천해주실만한 시뮬레이션이 있는지요?

 

제가 알기로는 엔시스나 CST프로그램을 알고 있습니다.

 

엔시스프로그램으로 위의사항을 분석 할 수 있는지도 궁금합니다.

 

감사합니다.

 

수고하십시오.

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [332] 102615
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 24654
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 61354
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73436
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 105739
773 micro arc에 대해 질문드립니다. [DC glow 방전과 breakdown 전기장] [1] 562
772 Wafer 영역별 E/R 차이에 대한 질문 [Gas flow system vs E/R] [1] 564
771 Tribo-Plasma 에 관해서 질문드리고 싶습니다. 566
770 plasma modeling 관련 질문 [Balance equation] [1] 566
769 RF 스퍼터 관련 질문이 있습니다. [장비 분해 리빌트 및 테스트] [1] 566
768 RF sputter 증착 문제 질문드립니다. [OES 진단과 sputter yield] [1] file 577
767 Plasma 장비 소재 특성 관련하여 문의드립니다. [DC breakdown 및 sheath] [1] 577
766 RIE 설비 관련 질문 좀 드려도 될까요? [RF matcher noise] [1] 584
765 인가전압과 ESC의 관계 질문 [Floating sheath] [1] 586
764 타겟 임피던스 값과 균일도 문제 [플라즈마 확산] [1] 589
763 Cu migration 방지를 위한 스터디 [전자재료] [1] 589
762 플라즈마 식각 시 notching 현상 관련 [Ar, O2 플라즈마 생성 특성] [1] 590
761 plasma off시 일어나는 현상 문의드립니다. [DC 바이어스 전압과 쉬스 전기장] [1] 597
760 CVD 박막 Clean 중 Ar에 의한 Etch 여부가 궁금합니다. [Ar plasma chemical etching] [1] 599
759 center to edge 문제를 극복하기 위한 방법 2 606
758 텅스텐 Plasma Cleaning 효율 불량 [Plasma Cleaning] [1] 609
757 안녕하세요 DBD 플라즈마 소독 관련질문입니다. [상압 플라즈마 임피던스, matching] [1] 610
756 공정 DATA TARGET 간 난제가 있어 문의드립니다. [Sheath uniformity 이해] [1] 613
755 Etch Plasma 관련 문의 건.. [RF 주파수와 플라즈마 주파수] [1] 621
754 RIE 식각공정중 발생하는 가스를 예측할 수 있는 메커니즘에 대해 질문하고 싶습니다. [플라즈마-화학-표면 반응 모델] [1] 628
쓰기
태그

Boards

XE Login