안녕하세요. 저는 유니스트에 재학중인 대학원생입니다.


이전에도 ICP CVD에 대해서 질문을 올렸었는데 그때 답변을 보고 문제점이 무엇인지 알수 있었습니다. 너무나 감사합니다.


그래서 이번에도 질문이 생겨 다시한번 찾아오게 되었습니다.


이번에 궁금한 점은 ICP CVD의 sample stage나 substrate에 magnetic property가 존재할 경우 plasma의 거동이 변하는지 변한다면 어떤식으로 변하게 될지 궁금하여 질문을 드립니다.


제가 찾아본 자료들을 보면 sample stage에 bias를 걸어서 deposition rate을 조절할수 있다는 자료들을 찾아 봤었습니다.


 그러다 문득 생각난게 magnetic field도 유사한 결과를 보여줄것 같은데 이렇게 생각해도 되는지 궁금합니다.


혹시 관련된 서적이나 논문 자료등 추천해주실 만한 자료가 있으시면 염치 불구하고 부탁드리겠습니다.


감사합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [300] 77911
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20785
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57700
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 69201
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 93554
736 염소발생 전기분해 시 스파크 발생에 관해 질문드립니다. [1] file 410
735 plasma off시 일어나는 현상 문의드립니다 [1] 412
734 타겟 임피던스 값과 균일도 문제 [1] 419
733 CURRENT PATH로 인한 아킹 [1] file 435
732 ICP 방식에서 RF Foward Power를 상향하면 ER이 빨라지는 이유 [플라즈마 생성 반응] [1] 439
731 PDP 방전갭에 따른 휘도에 관해 질문드려요 [1] 442
730 애칭 후 부산물의 양을 알고 싶습니다. [1] 442
729 VPS 공정에서 압력변수관련 질문입니다. [1] 445
728 PEALD 장비에 관해서 문의드리고 싶습니다. [1] 449
727 H-field 측정위치에 따른 H Field MAP 변화 관련 [1] 455
726 플라즈마 밀도와 라디칼 [플라즈마 충돌 반응] [1] 457
725 center to edge 문제를 극복하기 위한 방법 2 459
724 안녕하세요 DBD 플라즈마 소독 관련질문입니다. [1] 463
723 플라즈마 공정 후, 친수성으로 변한 표면의 친수성 제거 [1] 467
722 glass에 air plasma 후 반응에 대해 질문이 있습니다. [1] 469
721 KM 모델의 해석에 관한 질문 [1] 474
720 Tribo-Plasma 에 관해서 질문드리고 싶습니다. 484
719 코로나 방전 처리 장비 문의드립니다. [1] 491
718 ICP Dry Etch 설비 DC bias Hunting 관련 질문드립니다. [1] 492
717 standing wave effect, skin effect 원리 [Maxwell 방정식 이해] [1] 492

Boards


XE Login