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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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N2 Blowing Ionizer 사용 시 궁금점 질문 드립니다. [N2 Ionizer 이온 및 중성 입자 해석]
[1] | 2228 |
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ICP와 CCP에서의 Breakdown voltage [Breakdown과 E-H transition]
[1] | 2145 |
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유도결합 플라즈마 소스 질문!!!? [전기장 내 입자 거동]
[2] | 2135 |
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plasma 형성 관계 [Paschen's law, 플라즈마 주파수]
[1] | 2077 |
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PECVD와 RIE의 경계에 대해 [DC bias 형성 판단]
[1] | 2073 |
88 |
ICP reflecot power [Insulator와 rf leak]
[1] | 2063 |
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가입인사드립니다.
[1] | 2059 |
86 |
ICP lower power 와 RF bias [Self bias, Floating sheath]
[1] | 2042 |
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N2, N2O Gas 사용시 Plasma 차이점 [N2 Plasma]
[1] | 2033 |
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안녕하세요 교수님. ICP관련하여 문의드립니다. [Faraday shield]
[1] | 1988 |
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Ar/O2 ICP 플라즈마 관하여 [ICP match impedance]
[1] | 1979 |
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Wafer Warpage에 따른 CCP Type Chamber 내부 Impedance [ESC와 Chamber impedance]
[1] | 1975 |
81 |
연속 plasma 방전시 RF power drop 및 Reflect 발생 [Cleaning procedure 플라즈마 공정진단 기술]
[1] | 1942 |
80 |
PECVD Cleaning에서 Ar Gas의 역활 [Ar plasma, Ar metastable]
[1] | 1919 |
79 |
CCP에서 전자밀도증가 -> 임피던스 감소 과정 질문있습니다. [Breakdown과 impedance]
[3] | 1918 |
78 |
ICP-RIE etch에 관해서 여쭤볼것이 있습니다. [He 혼합비와 플라즈마 밀도]
[1] | 1910 |
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Plasma arcing 관련하여 문의드립니다. [플라즈마 내 전자 축적]
[1] | 1882 |
76 |
Plasma Ignition 시 Gas 사용에 대한 궁금증 요청드립니다. [Pachen's law와 Ar Gas]
[1] | 1875 |
75 |
전자밀도 크기에 대하여 질문드립니다. (Ar, O2, N2 가스) [Plasma density와 Balance equation]
[1] | 1811 |
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RPSC 시 Pressure와 Throttle Valve Position의 관계 [Plasma cleaning]
[1] | 1767 |
정의가 중요합니다. 고온과 저온은 우리가 생각하는 온도 범위와는 차이가 큽니다. 여기서는 주로 eV 에너지 단위를 사용해서 온도를 표시합니다. 일반적으로 온도는 플라즈마 전자의 온도로 가정해도 좋습니다.. 따라서 저온 플라즈마는 (<10eV) 정도의 전자의 열평형상태를 대표하는 온도이며, 이는 주로 산업용으로 쓰이는 플라즈마를 의미합니다. 전자에너지가 낮음은 플라즈마가 모두 이온화 되어 있지 않다는 의미이기 도하며, 이온화율을 1% 정도에서 10% 정도까지, 또는 그 미만으로 부분적으로 이온화된 상태 (partially ionization), 플라즈마 전자+이온+대부분의 중성입자 (라디털포함)으로 이뤄진 상태입니다. 반면 고온 플라즈마는 핵융합 플라즈마와 같이 전자 온도가 수십 keV를 넘는 플라즈마이며 이정도 온도를 가졌기에 대부분의 가스입자들이 완전히 이온화가 된 상태, fully ionization 상태를 의미하게 됩니다. 따라서 저온 플라즈마에서는 플라즈마의 물리적 특성과 함께 화학적 특성과 중성입자의 거동을 함께 고려해야 하며, 고온 플라즈마에서는 주로 물리적 특성과, 대부분이 자화된 상태로 구속되어 있으므로 자기장에서의 성질을 함께 고려해야 한다는 의미를 함축하고 있습니다.