안녕하십니까? 대학원에서 플라즈마 상태에 따른 박막의 특성을 연구하고 있는 학생입니다.

현재 연구실에서 OES를 사용하고 있는데, 분석 법 중에서 Actinometry 법 외에 excitation temperature를 구할 수 있는 것을 뒤늦게서야 알게 됐습니다.

몇몇 논문을 봤을 때 랭뮤어 탐침 법으로 electron temperature를 구하고, OES로 excitation temperature를 구한 결과를 비교했을 때 같은 경향성을 나타낸다고 봤습니다. 

여기서 몇 가지 질문할 사항이 있습니다.

1. 그렇다면 OES를 통해 확인하고자 하는 species의 excitation temperature를 구하여, species가 플라즈마 내에서 대략적으로 어떠한 상태인지를 경향성을 확인할 수 있지 않나요?

2. 그리고 electron temperature와 excitation temperature의 차이를 명확하게 모르겠습니다. 간단하게 설명을 부탁드릴 수 있을까요?


감사합니다!.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [265] 76542
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20078
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57116
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68615
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91697
25 플라즈마 온도 27734
24 고온플라즈마와 저온플라즈마 23102
23 플라즈마 온도 질문 + 충돌 단면적 21993
22 remote plasma에 대해 설명좀 부탁드립니다. [1] 21984
21 플라즈마내의 전자 속도 [1] 21871
20 플라즈마 진동수와 전자온도 20001
19 플라즈마를 손으로 만질 수는 없나요?? 19014
18 등온플라즈마와 비등온플라즈마 18762
17 전자온도에 대하여 궁금한 사항이 있습니다. [1] 18697
16 저온 플라즈마에 관한 질문 18190
15 플라즈마 온도중 Tr의 의미 17787
14 RF Power에 따라 전자온도가 증가하는 경우에 대하여 궁금합니다. [1] 17668
13 고온플라즈마와 저온플라즈마 17406
12 산업용 플라즈마의 특성 15145
11 플라즈마 발생 억제 문의 [1] 8114
» OES를 활용한 excitation temperature 분석 질문입니다. [1] 5911
9 electron energy distribution에 대해서 질문드립니다. [2] 3167
8 아르곤이나 기타 플라즈마 토치에 소량의 수증기를 집어넣으면 온도가 떨어지는 현상에 대해서 3163
7 RF frequency와 다른 변수 상관관계 질문 2275
6 N2 Plasma 상태에 대해서 질문 드립니다. [1] 2117

Boards


XE Login