질문하실 때 실명을 사용하여주세요.

2010.11.25 15:38

관리자 조회 수:92712 추천:380

플라즈마에 관심있으신 모든 분이 활용하고 플라즈마의 지식을 공유할수 있는 공간을 제공한다라는 원칙을 갖고 있습니다. 따라서 의견을 개진 하실 때는 자신의 이름을 분명히 밝혀주셔야 합니다. 그럼으로써 서로 알고 있는 플라즈마의 지식을 자유롭게 공유할 수 있을 것 입니다. 이 사항을 협조하여 주지기 바랍니다. 본인의 이름을 밝히지 않는 사람의 의견은 일주일 이내에 내용이 삭제됩니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [278] 76888
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20282
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57204
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68758
» 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92712
23 매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다. [1] 848
22 ICP BIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다ICP BIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다 [1] file 833
21 RF 파워서플라이 매칭 문제 832
20 RF Frequency 가변과 FORWARD POWER의 상관관계 [2] 791
19 정전척의 chucking voltage 범위가 궁금합니다. [1] 726
18 analog tuner관련해서 질문드립니다. [1] 661
17 RPC CLEAN 시 THD 발생 [1] 645
16 주파수 변화와 Plasma 온도 연관성 [1] 632
15 Interlock 화면.mag overtemp의 의미 589
14 PECVD설비 Matcher 아킹 질문 [2] 586
13 Chamber impedance 범위에 대해 질문드립니다. 557
12 Bais 인가 Cable 위치 관련 문의 [1] 551
11 플라즈마 전원 공급장치에 대한 질문 [1] 515
10 CCP 설비 Capacitance 및 Impedance 변화에 따른 Vpp 변동성 문의 [2] 426
9 CURRENT PATH로 인한 아킹 [1] file 407
8 chamber에 인가 되는 forward power 관련 문의 [1] 368
7 반사파와 유,무효전력 관련 질문 [2] 359
6 PECVD 고온 공정에서 증착 막으로의 열전달 관련 문의드립니다. [1] 346
5 Edge ring의 역할 및 원리 질문 [1] 296
4 스미스차트의 저항계수에 대한 질문드립니다 81

Boards


XE Login