Process 전자기장 및 유체 시뮬레이션 관련 [핵융합 연구소]

2019.11.20 18:31

베컴 조회 수:815

안녕하십니까?

 

현업에서 일하면서, 정전척관련 업무를 진행하고 있습니다.

 

유체와 전자기장 관련 아킹이라던지/유전상수에 따른 전자기장 분포 등에 대한 분석을 하고 싶은데,

 

추천해주실만한 시뮬레이션이 있는지요?

 

제가 알기로는 엔시스나 CST프로그램을 알고 있습니다.

 

엔시스프로그램으로 위의사항을 분석 할 수 있는지도 궁금합니다.

 

감사합니다.

 

수고하십시오.

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [336] 108103
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 26438
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 63597
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 75271
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 108790
174 RIE Gas 질문 하나 드려도 될까요? [Sheath instability] [1] 683
173 플라즈마 식각 시 notching 현상 관련 [Ar, O2 플라즈마 생성 특성] [1] 688
172 RIE 식각공정중 발생하는 가스를 예측할 수 있는 메커니즘에 대해 질문하고 싶습니다. [플라즈마-화학-표면 반응 모델] [1] 691
171 애칭 후 부산물의 양을 알고 싶습니다. [Materials processing] [1] 707
170 PDP 방전갭에 따른 휘도에 관해 질문드려요 [Pd condition과 PDP] [1] 716
169 Etch Plasma 관련 문의 건.. [RF 주파수와 플라즈마 주파수] [1] 721
168 magnetic substrate와 플라즈마 거동 [대면 재료의 전기적 특성와 플라즈마 쉬스의 변화] [3] 770
167 ICP 장비 TCP Reflect 발생 간 조언 부탁드립니다. [1] 775
166 III-V 반도체 에칭 공정 문의 [1] 796
165 메틸기의 플라즈마 에칭반응 메커니즘 [공정 플라즈마] [1] 802
164 AlCu Dry Etch시 Dust 잔존문제 814
» 전자기장 및 유체 시뮬레이션 관련 [핵융합 연구소] [1] 815
162 Wafer 영역별 E/R 차이에 대한 질문 [Gas flow system vs E/R] [1] 836
161 PEALD장비에 관해서 질문드리고 싶습니다. [장비 세정 및 관리 규칙] [1] 904
160 ICP 후 변색 질문 907
159 Dusty Plasma의 진단에 관해서 질문드립니다. [Sheath 전기장 및 instability] [1] file 908
158 접착력을 위한 플라즈마 처리 관련 질문입니다. [플라즈마 소스 변경] [1] 956
157 플라즈마 절단시 C와 N의 결합가능성 [Plasma torch와 cyanide] [2] 968
156 Dielectric Etcher(CCP)에서 사용하는 주파수 [Plasma frequency 및 RF sheath] [2] 988
155 기판표면 번개모양 불량발생 [Plasma charging] [1] 1003
쓰기
태그

Boards

XE Login