Etch Plasma etch관련 질문이 드립니다.

2020.05.22 08:28

곰지파이터 조회 수:870

안녕하세요. 교수님.

국내 반도체장비 업체에서 Plasma etch 설비를 운용하고 있는 연구원입니다.

설비를 운용하다 궁금한 사항이 있어 문의드립니다.


1. RF Bias에 의해 etch가 진행되는 경우, wafer가 안착되는 Chuck의 면적과 Etch량과의 상관관계가 있는지 문의드립니다.

  

2. 1번과 비슷한 질문입니다. 12inch /8inch 2wafer가 아닌 Panel type의 etch를 진행할 때,

    가로와 세로의 길이가 다른경우(ex 300x400mm), 300mm의 edge면과 400mm의 edge면의 E/A가 달라질 수 있는건지 문의드립니다.


항상 도움이되는 답변감사드립니다.

즐거운 하루 보내세요.


이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [128] 5598
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 16878
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 51346
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 64207
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 84185
132 Al Dry Etch 후 잔류 Cl 이온 제어를 위한 후처리 방법 [1] 509
131 RIE 장비 사용 중 dc-bias의 감소 [1] 533
130 텅스텐 Etch 관련하여 질문드립니다. [1] 542
129 플라즈마 절단시 C와 N의 결합가능성 [2] 571
128 ICP 후 변색 질문 585
127 O2 Asher o-ring 문의드립니다. [1] 605
126 엘립소미터 측정관련해서 질문이 있습니다. [1] 614
125 식각 가스 사용 챔버의 잔류 flourine cleaning 혹은 conditioning 방법 질문 [1] 644
124 RIE 공정시에 형성되는 두 효과를 분리해 보고 싶습니다. [1] 646
123 Uniformity 관련하여 문의드립니다. [1] 667
122 Vacuum Chamber(Etching) 내에서 열의 이동과 Byproduct 이동과의 관계. [2] 696
121 Dechucking과 He gas의 관계 질문입니다. [1] 765
120 O2 etch 후 polymer 변성에 관한 문의 file 811
119 PECVD 증착시 온도, 기판의 종류의 영향에 대해서 질문드립니다! [1] 813
118 Plasma Etching 교재 추천 부탁드립니다.. [3] 855
» Plasma etch관련 질문이 드립니다. [1] 870
116 ICP, CCP 그리고 Ion Implantation 공정 관련 질문 드립니다. [1] 878
115 Matcher의 효율에 대한 내용에 대해서 궁금합니다. [1] 885
114 부가적인 스퍼터링 관련 질문 드립니다. [1] 887
113 챔버 임피던스 변화에 따른 공정변화 [1] 973
쓰기
태그

Boards

XE Login