안녕하세요. 저는 유니스트에 재학중인 대학원생입니다.


이전에도 ICP CVD에 대해서 질문을 올렸었는데 그때 답변을 보고 문제점이 무엇인지 알수 있었습니다. 너무나 감사합니다.


그래서 이번에도 질문이 생겨 다시한번 찾아오게 되었습니다.


이번에 궁금한 점은 ICP CVD의 sample stage나 substrate에 magnetic property가 존재할 경우 plasma의 거동이 변하는지 변한다면 어떤식으로 변하게 될지 궁금하여 질문을 드립니다.


제가 찾아본 자료들을 보면 sample stage에 bias를 걸어서 deposition rate을 조절할수 있다는 자료들을 찾아 봤었습니다.


 그러다 문득 생각난게 magnetic field도 유사한 결과를 보여줄것 같은데 이렇게 생각해도 되는지 궁금합니다.


혹시 관련된 서적이나 논문 자료등 추천해주실 만한 자료가 있으시면 염치 불구하고 부탁드리겠습니다.


감사합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [110] 4862
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 16200
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 51246
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 63739
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [2] 83486
456 프리쉬스에 관한 질문입니다. [1] 427
455 부가적인 스퍼터링 관련 질문 드립니다. [1] 778
454 플라즈마 충격파 질문 [1] 658
453 ESC Cooling gas 관련 [1] 2805
452 O2 Plasma 에칭 실험이요 [1] 726
451 플라즈마 코팅 [1] 946
450 산소양이온의 금속 전극 충돌 현상 [1] 2364
449 수중방전에 대해 질문있습니다. [1] 350
448 [CVD] 막 증착 관련 질문입니다. [4] 972
447 RPS를 이용한 유기물 식각장비 문의 [1] 520
446 플라즈마용사코팅에서의 carrier gas [1] 538
445 RF MATCHING 관련 교재 추천 부탁드립니다 [1] 686
444 RF tune position 과 Vrms의 관계가 궁금합니다 [1] 670
443 Frequnecy에 따라 플라즈마 영역이 달라질까요? [1] 439
442 Ar/O2 ICP 플라즈마 관하여 [1] 914
441 염소발생 전기분해 시 스파크 발생에 관해 질문드립니다. [1] file 293
» magnetic substrate와 플라즈마 거동 [3] 341
439 플라즈마 세라믹코팅후 붉은 이유는? 2107
438 Pecvd 장비 공정 질문 [1] 1014
437 CCP 챔버 접지 질문드립니다. [1] file 961

Boards


XE Login