안녕하십니까?


현업에서 일하면서, 정전척관련 업무를 진행하고 있습니다.


유체와 전자기장 관련 아킹이라던지/유전상수에 따른 전자기장 분포 등에 대한 분석을 하고 싶은데,


추천해주실만한 시뮬레이션이 있는지요?


제가 알기로는 엔시스나 CST프로그램을 알고 있습니다.


엔시스프로그램으로 위의사항을 분석 할 수 있는지도 궁금합니다.


감사합니다.


수고하십시오.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [265] 76539
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20076
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57115
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68613
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 91695
602 ESC Polymer cracking 제거를 위한 ISD 공정 문의 1383
601 공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 어떤 이유들이 있을까요..? [2] 1054
600 CCP에서 접지된 전극에 기판을 놓았을 때 반응 [1] 948
599 Edge ring과 플라즈마 밀도 균일성 [1] 1688
598 [Etching 공정 중 wafer를 고정하기 위해 사용되는 Ring관련] [3] 2662
597 매칭시 Shunt와 Series 값 [1] 1808
596 RF Power와 균일도 연관성 질문드립니다. [2] 3224
595 구 대칭으로 편광된 전자기파를 조사할 때에 대한 질문입니다. [1] file 223
594 CCP에서 전극에 쌓이는 막질에 의한 Capacitance 변화가 궁금합니다 [1] 2293
593 low pressure 영역에서 아킹이 더 쉽게 발생하는 이유에 관해 문의드립니댜. [1] 1336
592 안녕하세요? 임피던스 매칭관련 질문드립니다. [1] 2270
591 electron energy distribution에 대해서 질문드립니다. [2] 3167
590 안녕하세요 플라즈마의 원초적인 개념에서 궁금한 점이 생겨서 질문드립니다. [1] 842
589 플라즈마 에칭 과 표면처리 의 차이점 질문드립니다. [1] 1958
588 RIE에서 O2역할이 궁금합니다 [4] 3658
587 플라즈마 챔버 [2] 1205
586 Decoupled Plasma 관련 질문입니다. [1] 1040
585 플라즈마 임피던스와 Vpp가 관련이 있나요? [1] 3558
584 플라즈마 용어 질문드립니다 [1] 776

Boards


XE Login