안녕하세요. 저는 유니스트에 재학중인 대학원생입니다.


이전에도 ICP CVD에 대해서 질문을 올렸었는데 그때 답변을 보고 문제점이 무엇인지 알수 있었습니다. 너무나 감사합니다.


그래서 이번에도 질문이 생겨 다시한번 찾아오게 되었습니다.


이번에 궁금한 점은 ICP CVD의 sample stage나 substrate에 magnetic property가 존재할 경우 plasma의 거동이 변하는지 변한다면 어떤식으로 변하게 될지 궁금하여 질문을 드립니다.


제가 찾아본 자료들을 보면 sample stage에 bias를 걸어서 deposition rate을 조절할수 있다는 자료들을 찾아 봤었습니다.


 그러다 문득 생각난게 magnetic field도 유사한 결과를 보여줄것 같은데 이렇게 생각해도 되는지 궁금합니다.


혹시 관련된 서적이나 논문 자료등 추천해주실 만한 자료가 있으시면 염치 불구하고 부탁드리겠습니다.


감사합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [101] 3647
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 15336
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 50576
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 62991
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [2] 82102
449 수중방전에 대해 질문있습니다. [1] 337
448 [CVD] 막 증착 관련 질문입니다. [4] 940
447 RPS를 이용한 유기물 식각장비 문의 [1] 503
446 플라즈마용사코팅에서의 carrier gas [1] 521
445 RF MATCHING 관련 교재 추천 부탁드립니다 [1] 666
444 RF tune position 과 Vrms의 관계가 궁금합니다 [1] 651
443 Frequnecy에 따라 플라즈마 영역이 달라질까요? [1] 425
442 Ar/O2 ICP 플라즈마 관하여 [1] 879
441 염소발생 전기분해 시 스파크 발생에 관해 질문드립니다. [1] file 275
» magnetic substrate와 플라즈마 거동 [3] 323
439 플라즈마 세라믹코팅후 붉은 이유는? 2097
438 Pecvd 장비 공정 질문 [1] 976
437 CCP 챔버 접지 질문드립니다. [1] file 930
436 DRY Etcher Alram : He Flow 관점 문의 드립니다. [1] 1332
435 Gas 별 Plasma 색 관련 질문입니다. [1] 2269
434 RF magnetron sputtering시 플라즈마 off현상 [1] 426
433 RF Generator 주파주에 따른 Mathcer Vrms 변화. [1] 777
432 플라즈마 self bias 값과 압력, 파워의 상관관계에 대해 질문이 있습니다. [1] 1687
431 산소 플라즈마에 대한 질문입니다... 348
430 수중 속 저온 플라즈마 방전 관련 질문 드립니다 [2] file 441

Boards


XE Login