Process 전자기장 및 유체 시뮬레이션 관련

2019.11.20 18:31

베컴 조회 수:542

안녕하십니까?


현업에서 일하면서, 정전척관련 업무를 진행하고 있습니다.


유체와 전자기장 관련 아킹이라던지/유전상수에 따른 전자기장 분포 등에 대한 분석을 하고 싶은데,


추천해주실만한 시뮬레이션이 있는지요?


제가 알기로는 엔시스나 CST프로그램을 알고 있습니다.


엔시스프로그램으로 위의사항을 분석 할 수 있는지도 궁금합니다.


감사합니다.


수고하십시오.

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [269] 76738
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20206
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57168
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68702
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92284
529 질문있습니다 교수님 [1] 22120
528 CVD품질과 RF Delivery power 관계 질문 [1] 1731
527 KM 모델의 해석에 관한 질문 [1] 446
526 remote plasma 데미지 질문 [1] 14461
525 RF generator 관련 문의드립니다 [3] 1914
524 Wafer Warpage에 따른 CCP Type Chamber 내부 Impedance [1] 1288
523 안녕하세요. O2 plasma etching에 대해 궁금한 것이 있습니다. [1] 6580
522 산소 플라즈마 처리 관하여 질문드립니다. [1] 1164
521 플라즈마의 직진성에 관해 질문드립니다. [2] 1237
520 Deposition 진행 중 matcher(shunt,series) 관계 질문 [3] 3927
519 ECR 플라즈마에 대해서 질문 드립니다. [1] 2234
518 Plasma Dechuck Process가 궁금합니다. 17672
517 HEATER 교체 이후 SELF BIAS 상승관련 문의 [1] 1059
516 Vpp, Vdc 측정관련 문의 [1] 3690
515 간단한 질문 몇개드립니다. [1] 587
514 matcher에서 load,tune의 역할이 궁금합니다. [1] 10355
513 Si Wafer에 Plasma를 처리했을때 정전기 발생 [1] 800
512 Hollow Cathode glow Discharge 실험 관련해서 여쭤보고싶습니다. [1] file 759
511 에쳐장비HF/LF 그라운드 관련 [1] 19776
510 매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다. [1] 839
쓰기
태그

Boards

XE Login