Others 저온플라즈마에 대하여 ..질문드립니다 ㅠ
2012.12.12 10:08
안녕하세요 ,
저온플라즈마에 대해서 궁금한게있습니다 .
저온플라즈마의 단점이 뭔지궁금합니다 ...
어디서부터기준을잡아야할진잘모르겠네요 ..
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [268] | 76730 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20196 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57167 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68701 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92280 |
509 | ICP-RIE process 및 plasma에 대해 질문있습니다. [2] | 3646 |
508 | 진학으로 고민이 있습니다. [2] | 1030 |
507 | 플라즈마 형성시 하전입자의 밀도와 챔버에 관련해서 질문드립니다. [2] | 1226 |
506 | Gas flow rate에 따른 etch rate의 변화가 궁금합니다. [1] | 2974 |
505 | 전자기장 및 유체 시뮬레이션 관련 [1] | 542 |
504 | ICP reflecot power 관련 질문드립니다. [1] | 1601 |
503 | 압력, 유량과 residence time에 대해 질문있습니다. [1] | 1934 |
502 | Arcing(아킹) 현상 및 local plasma 관련 문의 [1] | 11327 |
501 | Ar과 O2 plasma source에 따른 ignition condition에 대하여 질문 있습니다. [1] | 2315 |
500 | 공정플라즈마 [1] | 1145 |
499 | 임피던스 매칭회로 [1] | 2804 |
498 | 전쉬스에 대한 간단한 질문 [1] | 550 |
497 | CCP기반 power와 Etch rate 관계에 대해 여쭈어드립니다. [3] | 1689 |
496 | glow 방전 현상과 플라즈마 현상에 궁금하여 글 남깁니다. [2] | 1507 |
495 | plasma sheath 두께의 영향에 대하여 질문드립니다. [2] | 3383 |
494 | 대학원 진학 질문 있습니다. [2] | 1157 |
493 | 질문있습니다. [1] | 2572 |
492 | chamber impedance [1] | 2009 |
491 | PECVD Precursor 별 Arcing 원인 [1] | 3278 |
490 | 플라즈마 관련 기초지식 [1] | 2128 |
저온 플라즈마의 단점이라고 하셨는데 저온 플라즈마를 어디에 활용할 때의 단점이라는 뜻인지,
또 저온이라는 것이 무엇 대비 얼마나 온도가 낮은 플라즈마를 뜻하는 것인지 명확한 질문 부탁합니다.