온도의 차이 말고도 다른 차이가 있나요?

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [272] 76804
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20239
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57185
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68736
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92559
412 HF+LF 사용 중. HF Power 증가 시 Deposition Rate 감소 현상 문의 [1] 2900
411 VI sensor를 활용한 진단 방법 [2] 2880
410 HF/F2와 silica 글래스 에칭율 자료가 있을까요? 2878
409 Edge ring 없이 ESC를 구현 가능한지 궁금해서 여쭤봅니다. [2] 2824
» 고온의 플라즈마와 저온의 플라즈마의 차이 [1] 2815
407 임피던스 매칭회로 [1] file 2811
406 PE 모드와 RIE 모드에서 쉬스 구역에 대한 질문 [1] 2778
405 [Etching 공정 중 wafer를 고정하기 위해 사용되는 Ring관련] [3] 2771
404 플라즈마 압력에 대하여 [1] 2728
403 PR wafer seasoning [1] 2704
402 플라즈마 밀도 관련 문의 드립니다. [1] 2688
401 수소 플라즈마 관련해서 질문이 있습니다. [3] 2652
400 RIE에 관한 질문이 있습니다. [1] 2642
399 산소양이온의 금속 전극 충돌 현상 [1] 2590
398 안녕하십니까 파워업체 연구원 입니다. (챔버쪽 임피던스 검출) [1] file 2583
397 질문있습니다. [1] 2574
396 Si Wafer Broken [2] 2524
395 플라즈마 방전을 위한 RF Power 공급시점에서의 반사파에 관해서 질문드립니다. [2] 2500
394 안녕하세요. 교수님 ICP관련하여 문의드립니다. [2] 2482
393 [RIE] reactive, non-reactive ion의 역할 [1] 2463

Boards


XE Login