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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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부가적인 스퍼터링 관련 질문 드립니다. [라디컬의 화학반응성 및 DC 타깃 전극]
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플라즈마 충격파 질문 [플라즈마 생성에 의한 충격파 현상]
[1] | 1090 |
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ESC Cooling gas 관련 [ESC 온도 제어]
[1] | 3981 |
452 |
O2 Plasma 에칭 실험이요
[1] | 1221 |
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플라즈마 코팅 [The Materials Science of Thin Films]
[1] | 1242 |
450 |
산소 양이온의 금속 전극 충돌 현상 [플라즈마 표면 반응]
[1] | 2817 |
449 |
수중방전에 대해 질문있습니다. [플라즈마 생성 및 방전]
[1] | 789 |
448 |
[CVD] 막 증착 관련 질문입니다. [수소의 확산과 쉬스에 의한 가속]
[4] | 1610 |
447 |
RPS를 이용한 유기물 식각장비 문의 [반응기 내벽 변동 및 벽면 불화 정도 판단]
[1] | 1043 |
446 |
플라즈마용사코팅에서의 carrier gas [용사 코팅]
[1] | 1180 |
445 |
RF MATCHING관련 교재 추천 부탁드립니다. [플라즈마 Impedance와 matching 설계]
[1] | 1212 |
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RF tune position과 Vms의 관계가 궁금합니다. [Chamber component, Matcher]
[1] | 1230 |
443 |
Frequency에 따라 플라즈마 영역이 달라질까요? [전자와 이온의 열운동 특성과 반응 거리]
[1] | 798 |
442 |
Ar/O2 ICP 플라즈마 관하여 [ICP match impedance]
[1] | 1982 |
441 |
염소발생 전기분해 시 스파크 발생에 관해 질문드립니다. [방전과 에폭시]
[1] | 681 |
440 |
magnetic substrate와 플라즈마 거동 [대면 재료의 전기적 특성와 플라즈마 쉬스의 변화]
[3] | 733 |
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플라즈마 세라믹코팅후 붉은 이유는?
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Pecvd장비 공정 질문 [Dusty plasma와 벽면 particle 제어]
[1] | 2126 |
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CCP챔버 접지 질문드립니다. [장치의 접지 일체화]
[1] | 1628 |
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DRY Etcher Alarm : He Flow 관점 문의 드립니다. [O ring 결합부 근처 leak detect]
[1] | 2925 |
저온 플라즈마의 단점이라고 하셨는데 저온 플라즈마를 어디에 활용할 때의 단점이라는 뜻인지,
또 저온이라는 것이 무엇 대비 얼마나 온도가 낮은 플라즈마를 뜻하는 것인지 명확한 질문 부탁합니다.