반도체 공정과 관련하여 DIFF 공정 진행 간, TEMP와 RF 간에 상관 관계가 궁금하여 문의 드립니다.

NH3의 분해와 관련하여 상온 기준 RF POWER를 인가한다고 했을때 분해 가능한 수준이 어느 정도인지 궁금합니다.(W 기준)

그리고 추가로 문의 드리고 싶은 사항은 TEMP와 RF 간에 상관 관계입니다. TEMP가 변화하는 정도에 따른 RF의 변화 정도가 어떻게 되는지 궁금해서 문의 드립니다.

정답이 힘들다면 참고 및 이해할 수 있는 답변을 좀 부탁 드립니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [333] 103339
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 24717
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 61530
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73521
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 105953
294 Microwave 장비 관련 질문 [RF Plasma의 주파수에 따른 파장의 길이] [1] 8836
293 N2 환겨에서의 코로나 방전을 통한 이온생성에 대한 질문입니다. [방전 장치의 플라즈마 성능 평가] [1] file 8949
292 Ar Gas 량에 따른 Deposition Rate 변화 [Depo radical 형성 및 sputtering] [1] 9057
291 수중 플라즈마에 대해 [수중 플라즈마의 화학 반응 현상] [1] 9156
290 Sheath와 Darkspace에 대한 질문입니다. [쉬스와 Bulk Plasma 영역] [1] 9205
289 공기정화기, 표면개질, PDP. 플라즈마응용 9340
288 ICP와 CCP는 단순히 플라즈마를 생서하는 방법인가요? [플라즈마 생성 기전, RIE 모드] [1] 9443
287 RF & DC sputtering에 대해 질문드립니다. [RF& DC bias와 matcher의 접지] [1] 9482
286 안녕하세요 교수님. [2차 전자 방출 메커니즘] [1] 9568
285 RF Power reflect 관련 문의 드립니다. [연속공정] [4] 9638
284 진공챔버내에서 플라즈마 발생 문의 [플라즈마의 형성 원리] [1] 9660
283 Ion Energy와 RF matchin관련 질문입니다. [Self bias와 matcher] [1] 9800
282 대기압 플라즈마에 대해서 9807
281 에칭후 particle에서 발생하는 현상 9857
280 저온 플라즈마 장비에 관련하여 자문을 구합니다. 9935
279 수중 방전 관련 질문입니다. [수중 방전 플라즈마의 특징] [1] 9999
278 플라즈마에 하나도 모르는 완전초보입니다.. 도와주십시오 ㅠㅠ [플라즈마의 진공과 가스 주입] [1] 10347
277 ICP 구성에서 PLASMA IGNITON시 문의 [ICP와 플라즈마 발생] [1] 10481
276 플라즈마 PIC 질문드립니다. [PIC simulation] [1] 10687
275 미국의 RF 관련 회사 문의드립니다. [플라즈마트 및 휘팅커 회사] [1] 10708

Boards


XE Login