Process 전자기장 및 유체 시뮬레이션 관련
2019.11.20 18:31
안녕하십니까?
현업에서 일하면서, 정전척관련 업무를 진행하고 있습니다.
유체와 전자기장 관련 아킹이라던지/유전상수에 따른 전자기장 분포 등에 대한 분석을 하고 싶은데,
추천해주실만한 시뮬레이션이 있는지요?
제가 알기로는 엔시스나 CST프로그램을 알고 있습니다.
엔시스프로그램으로 위의사항을 분석 할 수 있는지도 궁금합니다.
감사합니다.
수고하십시오.
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [303] | 78039 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20849 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57737 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 69253 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 93635 |
159 | 안녕하세요. 플라즈마 기체분자종에 따른 기판charing정도차이 문의 [1] | 706 |
158 | 주파수 변화와 Plasma 온도 연관성 [1] | 691 |
157 | Plasma Reflect를 관리하는 방법이 있을까요? [1] | 689 |
156 | analog tuner관련해서 질문드립니다. [1] | 689 |
155 | ICP Dry Etch 설비 DC bias Hunting 관련 질문드립니다. [1] | 687 |
154 | PECVD설비 Matcher 아킹 질문 [RF 전원과 matcher] [2] | 684 |
153 | RPC CLEAN 시 THD 발생 [1] | 680 |
152 |
RF Sputtering Target Issue
[2] ![]() | 677 |
151 | PECVD Uniformity [플라즈마 균일도 제어] [1] | 673 |
150 | OES를 통한 공정 개선 사례가 있는지 궁금합니다. [1] | 669 |
149 | Plasma 표면개질에 대해 질문드립니다. [1] | 668 |
148 | 기판표면 번개모양 불량발생 [1] | 665 |
147 | OES 파장 관련하여 질문 드립니다. [1] | 660 |
146 |
Dusty Plasma의 진단에 관해서 질문드립니다.
[1] ![]() | 656 |
145 |
진공수준에 따른 RF plasma 영향 관련 질문
[1] ![]() | 652 |
144 | 챔버 시즈닝에 대한 플라즈마의 영향성 [1] | 651 |
143 | 플라즈마 샘플 위치 헷갈림 [1] | 633 |
142 | 플라즈마 기본 사양 문의 [1] | 633 |
141 | CCP RIE 플라즈마 밀도 [1] | 631 |
140 |
Chamber 내 Pressure와 Fluid Density, Residence Time 거동
[1] ![]() | 629 |
핵융합 연구소의 권득철박사님/ 한양대학교 정진욱교수님께 문의드려 보시면 좋은 정보를 얻으실 수 있을 것 같습니다.