질문하실 때 실명을 사용하여주세요.

2010.11.25 15:38

관리자 조회 수:105744 추천:380

플라즈마에 관심있으신 모든 분이 활용하고 플라즈마의 지식을 공유할수 있는 공간을 제공한다라는 원칙을 갖고 있습니다. 따라서 의견을 개진 하실 때는 자신의 이름을 분명히 밝혀주셔야 합니다. 그럼으로써 서로 알고 있는 플라즈마의 지식을 자유롭게 공유할 수 있을 것 입니다. 이 사항을 협조하여 주지기 바랍니다. 본인의 이름을 밝히지 않는 사람의 의견은 일주일 이내에 내용이 삭제됩니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [332] 102630
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 24656
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 61356
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73440
» 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 105744
553 ICP Chamber Type의 Belljar Arcing관련 문의드립니다. [국부 전기장 형성 및 reflect power] [2] 1538
552 Uniformity 관련하여 문의드립니다. [베르누이 정리] [1] 1549
551 micro plasma에 사용되는 전력을 알고 싶습니다. [Wave guide 설계 및 matcher 설계] [1] 1554
550 플라즈마 진단에서 rogowski 코일 관련 질문 드립니다. [B-dot probe, plasma diagnostics] [1] 1555
549 플라즈마 형성시 하전입자의 밀도와 챔버에 관련해서 질문드립니다. [Skin depth, global model과 floating potential] [2] 1561
548 etch defect 관련 질문드립니다 [Plasma distribution] [1] 1568
547 엘립소미터 측정관련해서 질문이 있습니다. [나노광전자 데이터 분석] [1] 1572
546 poly식각을 위한 조언 부탁드립니다. file 1582
545 RF Generator 주파주에 따른 Matcher Vms 변화 [주파수에 따른 임피던스 변화] [1] 1589
544 수방전 플라즈마 살균 관련.. 문의 드립니다. [플라즈마 기술 센터 문의] [1] 1599
543 [CVD] 막 증착 관련 질문입니다. [수소의 확산과 쉬스에 의한 가속] [4] 1602
542 CCP챔버 접지 질문드립니다. [장치의 접지 일체화] [1] file 1615
541 플라즈마 내에서의 현상 [Neo-classical transport theory] [1] 1617
540 Remote plasma source의 주파수 400kHz 이유 [Remote plasma 이해] [1] 1618
539 RF Frequency 가변과 Forward Power의 상관관계 [임피던스 매칭] [2] 1619
538 dbd-플라즈마 질문있어욤!!!!! [플라즈마 생성 반응] [1] file 1621
537 MFP와 Sheath 관련하여 추가 질문 드립니다. [Collisional sheath 정의] [1] 1623
536 임피던스 매칭 및 플라즈마 진단 [플라즈마 전류량] [1] 1624
535 전자 온도 구하기 [쉬스 전압, 스퍼터링 효과] [1] file 1632
534 식각 가스 사용 챔버의 잔류 flourine cleaning 혹은 conditioning 방법 질문 [O2 plasma, ion sputtering] [1] 1639

Boards


XE Login