Others 잔류시간 Residence Time에 대해

2021.06.08 10:34

피했습니다 조회 수:1234

안녕하세요 박사님. 플라즈마 장비를 다루는 반도체 장비 회사에 다니는 연구원입니다.

항상 좋은 글 잘 보고 있습니다.

 

다름이 아니라 저희가 현재 유입하는 Gas의 유량을 조절하여 이것이 공정에 어떤 영향을 끼치는지 분석하고 있습니다.

 

저희가 펌프의 Valve를 고정해놓고 실험을 했기 때문에 유입시키는 Gas 양을 줄이면서 자연스럽게 Pressure 또한 줄어 들었는데,

이 때 Gas의 Residence Time 이 어떻게 변하는지 궁금합니다.

 

같은 양의 Gas라고 하더라도 Residence time에 따라 공정 결과 값이 바뀔 것 같은데 

이 Residence time은 어떻게 구할 수 있을까요?

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [303] 78037
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20847
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57737
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 69253
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 93631
599 안녕하세요 플라즈마의 원초적인 개념에서 궁금한 점이 생겨서 질문드립니다. [1] 965
598 RF 전압인가 시 LF와 HF 에서의 Sheath 비교 [1] 972
597 ICP BIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다ICP BIPOLAR ESC 관련 이론과 Chuck Force 계산 질문드립니다 [1] file 978
596 상압플라즈마 제품 원리 질문드립니다 [2] 989
595 O2 Plasma 에칭 실험이요 [1] 995
594 Tungsten 표면 Contamination 제거(실명재등록) [1] 1004
593 3-body recombination 관련 문의드립니다. [2] 1008
592 RF tune position 과 Vrms의 관계가 궁금합니다 [1] 1016
591 아래 382 번 질문에 대한 추가 질문 드립니다. [1] 1031
590 고진공 만드는방법. [1] 1033
589 Collisional mean free path 문의... [1] 1034
588 플라즈마를 이용한 오존 발생기 개발 문의 件 [1] 1044
587 Shield 및 housing은 ground 와 floating 중 어떤게 더 좋은지요 [2] 1046
586 전자 온도에 대한 질문이 있습니다. [1] 1048
585 RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다. [1] 1050
584 langmuir probe관련하여 질문드리고 싶습니다. [1] file 1052
583 CCP에서 접지된 전극에 기판을 놓았을 때 반응 [1] 1053
582 플라즈마 코팅 [1] 1059
581 Plasma 에서 Coupled (결합) 의 의미 [1] 1061
580 anode sheath 질문드립니다. [1] 1072
쓰기
태그

Boards

XE Login