안녕하세요. 저는 유니스트에 재학중인 대학원생입니다.


이전에도 ICP CVD에 대해서 질문을 올렸었는데 그때 답변을 보고 문제점이 무엇인지 알수 있었습니다. 너무나 감사합니다.


그래서 이번에도 질문이 생겨 다시한번 찾아오게 되었습니다.


이번에 궁금한 점은 ICP CVD의 sample stage나 substrate에 magnetic property가 존재할 경우 plasma의 거동이 변하는지 변한다면 어떤식으로 변하게 될지 궁금하여 질문을 드립니다.


제가 찾아본 자료들을 보면 sample stage에 bias를 걸어서 deposition rate을 조절할수 있다는 자료들을 찾아 봤었습니다.


 그러다 문득 생각난게 magnetic field도 유사한 결과를 보여줄것 같은데 이렇게 생각해도 되는지 궁금합니다.


혹시 관련된 서적이나 논문 자료등 추천해주실 만한 자료가 있으시면 염치 불구하고 부탁드리겠습니다.


감사합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [143] 5808
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 17215
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 53073
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 64487
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 85101
658 Plasma Ignition 시 Gas 사용에 대한 궁금증 요청드립니다. [1] 353
657 수중방전에 대해 질문있습니다. [1] 363
656 doping type에 따른 ER 차이 [1] 366
» magnetic substrate와 플라즈마 거동 [3] 367
654 PDP 방전갭에 따른 휘도에 관해 질문드려요 [1] 369
653 glass에 air plasma 후 반응에 대해 질문이 있습니다. [1] 370
652 Co-relation between RF Forward power and Vpp [2] 381
651 Plasma에 의한 분해 및 치환 반응(질문) [1] 385
650 산소 플라즈마에 대한 질문입니다... 388
649 연속 Plasma시 예상되는 문제와 횟수를 제한할 경우의 판단 기준 [1] file 388
648 핵융합 질문 [1] 391
647 (PAP)plasma absorption probe관련 질문 [1] 392
646 코로나 방전 처리 장비 문의드립니다. [1] 396
645 O2 플라즈마 사용에 대한 질문을 드립니다. 396
644 Dry Chamber VPP 변동 관련 질문입니다 [1] 400
643 Tribo-Plasma 에 관해서 질문드리고 싶습니다. 413
642 간단한 질문 몇개드립니다. [1] 423
641 Plasma Arching [1] 427
640 전쉬스에 대한 간단한 질문 [1] 430
639 플라즈마 샘플 위치 헷갈림 [1] 431

Boards


XE Login