ESC ESC Chuck Pit 현상관련 문의 드립니다.

2014.06.03 09:05

주민호 조회 수:16278

안녕하세요. 

식각공정 설비 Eng'r로 근무하고 있는데요. 

최근 Metal 식각을 하는 설비의 ESC Chuck에 이전에는 보지 못한 현상이 있어 이렇게 문의 드립니다.

첨부한 그림에서 처럼 ESC Chuck Center 부위에 Pit 현상이 발생하고 있습니다.

BIPOLAR ESC구요.  Chucking 전압은 700v이고 Dechuck전압은 -700v 입니다.

이런 현상이 발생하는 요인으로 어떤 것들이 있는지.....

바쁘시겠지만 답변 부탁드립니다.

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [113] 4906
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 16239
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 51250
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 63754
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [2] 83555
20 esc란? 27578
19 dechucking시 Discharge 불량으로 Glass 깨짐 [3] 25149
18 안녕하세요. O2 Plasma 관련 질문좀 드리겠습니다. 22703
17 Dry Etcher 내 reflect 현상 [2] 21828
16 [질문] 석영 parts로인한 특성 이상 [1] 19598
» ESC Chuck Pit 현상관련 문의 드립니다. file 16278
14 ESC Dechuck과 관련하여 궁금한점이 있어 문의를 드립니다. [1] 12557
13 정전척 isolation 문의 입니다. [1] 7124
12 Bipolar, J-R Type Electrostatic Chuck 에서의 Discharge 원리가 궁금합니다. 7005
11 플라즈마 건식식각 장비 부품 정전척 공정 진행 후 외각 He-hole 부위 burning 현상 매카니즘 문의.. [1] 6186
10 ESC Chuck 기능이 Wafer 위에서의 Chemical Bond 생성을 boosting 할 수 있는지 궁금합니다. [1] 4474
9 ESC 사용하는 PVD 에서 Center tap bias의 역할 3770
8 ESC Cooling gas 관련 [1] 2819
7 Edge ring 없이 ESC를 구현 가능한지 궁금해서 여쭤봅니다. [2] 2112
6 dry etching중 온도, 진공도, glass상태에 따라 chucking force가 변화하는지요? [1] 2021
5 Si Wafer Broken [2] 1844
4 CVD CCP/ICP 사용간 Wafet Bias volt 줄어듬 현상 문의드려요 [1] 1543
3 전극에 따른 힘의 크기 질문드립니다. [1] file 1124
2 ESC 표면 온도랑 식각률의 차이가 어떤 관계로 있는걸까요?? [1] 816
1 ESC Polymer cracking 제거를 위한 ISD 공정 문의 385
쓰기
태그

Boards

XE Login